凈化車間隔間分為三大部分

凈化車間隔間分為三大部分，更衣室，天津芯片廠費(fèi)用，千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)，更衣室與千級(jí)區(qū)，千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower)，天津芯片廠，凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進(jìn)入凈化車間時(shí)，首先要經(jīng)過風(fēng)淋室，對(duì)人體所帶的灰塵吹淋，減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋，達(dá)到落塵的效果。千級(jí)區(qū)過濾器采用HEPA，過濾效率99.997%，百級(jí)區(qū)過濾器采用ULPA，天津芯片廠哪家好，過濾效率99.9995%。

無(wú)塵車間含微粒數(shù)少于一定數(shù)量要求

無(wú)塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。無(wú)塵車間室內(nèi)空氣經(jīng)處理后，所含微粒數(shù)少于一定數(shù)量要求，一般分十萬(wàn)級(jí)、萬(wàn)級(jí)、千級(jí)等，即室內(nèi)每立方米空間的微粒數(shù)不大于十萬(wàn)、一萬(wàn)、一千個(gè)……。目前，無(wú)塵車間已經(jīng)在電子、光學(xué)、精密儀器、注塑等行業(yè)里廣泛使用。

潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對(duì)于傳輸、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

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