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半導(dǎo)體硅(芯)片清洗機(jī):
該設(shè)備主要用于清除硅(芯)片表面的廢屑、金屬離子等物質(zhì),是硅(芯)片生產(chǎn)過程中重要工序。設(shè)備主要技術(shù)特點(diǎn):1.可靠的控制系統(tǒng);2.觸摸屏控制顯示 ;3.可設(shè)置和存儲工藝菜單;4.高壓去離子水泵5.噴頭H軸Y軸調(diào)節(jié)6.在線電阻率檢測水質(zhì);7.清洗后高純氮?dú)飧稍锬K;8.自動(dòng)排水裝置;9.對硅片定位框架的安全定位。
像兆頻超聲攪動(dòng)這樣的物理輔助手段對結(jié)構(gòu)損傷和圖形坍塌等有潛在影響,正在對其改進(jìn),酸腐蝕清洗設(shè)備,以便在保持微粒去除工藝效率的同時(shí)不對圖形完整性產(chǎn)生有害影響??紤]到表面形態(tài)的原子級惡化都可能對器件性能會(huì)有致命影響,即使像DI水清洗等這些看起來較良性的清洗程序元素也必須重新評估。
我們的每臺設(shè)備除標(biāo)準(zhǔn)化制作外,常州腐蝕,還可根據(jù)客戶的工藝需求和工作環(huán)境的具體要求,對設(shè)備進(jìn)行人性化、個(gè)性化設(shè)計(jì),堿腐蝕設(shè)備,極大限度的將客戶的想法轉(zhuǎn)化為實(shí)際應(yīng)用。能完全滿足規(guī)?;a(chǎn)和研發(fā)需求。 天道酬勤,硅腐蝕設(shè)備,商道酬信!精良的產(chǎn)品質(zhì)量是我們的根本,超客戶預(yù)期是我們的自我需求,真誠守信是我們的原則,我們的目標(biāo)是提升中國濕制程設(shè)備制造水平和服務(wù)
RCA清洗附加兆聲能量后,可減少化學(xué)品及DI 水的消耗量,縮短晶片在清洗液中的浸蝕時(shí)間,減輕濕法清洗的各向同性對積體電路特征的影響,增加清洗液使用壽命。
蘇州晶淼半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
可根據(jù)客戶的工藝需求和工作環(huán)境的具體要求,對設(shè)備進(jìn)行人性化、個(gè)性化設(shè)計(jì),極大限度的將客戶的想法轉(zhuǎn)化為實(shí)際應(yīng)用。能完全滿足規(guī)?;a(chǎn)和研發(fā)需求。 天道酬勤,商道酬信!精良的產(chǎn)品質(zhì)量是我們的根本,超客戶預(yù)期是我們的自我需求,真誠守信是我們的原則,我們的目標(biāo)是提升中國濕制程設(shè)備制造水平和服務(wù)!
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