凈化工程是在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。GMP車間凈化工程凈化氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

　　GMP車間凈化工程對(duì)于亂流式潔凈室減少室內(nèi)污染主要是通過空氣的稀釋作用來完成的，因此，一般不用速度而是用換氣數(shù)來說的。但是，潔凈室找哪家，對(duì)潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求，和單純空調(diào)房間相比，送風(fēng)口的出口處氣流不要太大。吹過水平面的氣流速度不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，潔凈室哪家好，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。潔凈工程中凈化效果的如何，要看每步流程是否達(dá)標(biāo)，只有全方面考慮到，才能達(dá)到預(yù)期的效果。

凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)的逐層分解

　　1) 凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)的逐層分解是從凈化工程安裝施工開始前和在凈化工程安裝施工過程中，逐步地由宏觀到微觀，由粗到細(xì)編制濃度不同的進(jìn)度計(jì)劃過程。

　　2) 在凈化工程安裝施工過程中對(duì)凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)進(jìn)行動(dòng)態(tài)跟蹤和控制

　?、侔凑者M(jìn)度控制的要求，收集凈化工程安裝施工進(jìn)度實(shí)際值。

　　②定期對(duì)凈化工程安裝施工進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值進(jìn)行比較。根據(jù)本項(xiàng)目特點(diǎn)，進(jìn)度的控制周期可定為一旬或半月。比較凈化工程安裝施工進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值時(shí)應(yīng)注意，其對(duì)應(yīng)的工程內(nèi)容應(yīng)一致，如以里程碑事件的進(jìn)度目標(biāo)值或再細(xì)化的進(jìn)度目標(biāo)值作為進(jìn)度的計(jì)劃值，則進(jìn)度的實(shí)際值是相對(duì)于里程碑事件或再細(xì)化的分項(xiàng)工作的實(shí)際進(jìn)度。

　　進(jìn)度的計(jì)劃值和實(shí)際值的比較應(yīng)是定量的數(shù)據(jù)比較，比較的成果是進(jìn)度跟蹤和控制報(bào)告如編制進(jìn)度控制的旬、月、季、半年和年度報(bào)告等。

　　③通過凈化工程安裝施工進(jìn)度計(jì)劃值和實(shí)際值的比較，如發(fā)現(xiàn)進(jìn)度的偏差，潔凈室，則必須采用相應(yīng)的糾偏措施進(jìn)行糾偏.

　　3)如有必要(即發(fā)現(xiàn)原定的凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)不合理，或原定的凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)無法實(shí)現(xiàn)等)，則調(diào)整凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo).

　　(1)凈化工程安裝施工成本目標(biāo)的逐層分解，通過編制凈化工程安裝施工成本規(guī)劃，分析和論證凈化工程安裝施工成本目標(biāo)實(shí)現(xiàn)的可能性，并對(duì)凈化工程安裝施工成本目標(biāo)進(jìn)行分解。

　　(2)在凈化工程安裝施工過程中對(duì)凈化工程安裝施工成本目標(biāo)進(jìn)行動(dòng)態(tài)跟蹤和控制

　?、侔凑粘杀究刂频囊螅占瘍艋こ贪惭b施工成本的實(shí)際值。

送風(fēng)量大

潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi)，潔凈室價(jià)格，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。

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