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像兆頻超聲攪動這樣的物理輔助手段對結(jié)構(gòu)損傷和圖形坍塌等有潛在影響,顯影腐蝕臺,正在對其改進(jìn),以便在保持微粒去除工藝效率的同時不對圖形完整性產(chǎn)生有害影響。考慮到表面形態(tài)的原子級惡化都可能對器件性能會有致命影響,即使像DI水清洗等這些看起來較良性的清洗程序元素也必須重新評估。
我們的每臺設(shè)備除標(biāo)準(zhǔn)化制作外,還可根據(jù)客戶的工藝需求和工作環(huán)境的具體要求,對設(shè)備進(jìn)行人性化、個性化設(shè)計,極大限度的將客戶的想法轉(zhuǎn)化為實際應(yīng)用。能完全滿足規(guī)?;a(chǎn)和研發(fā)需求。 天道酬勤,顯影腐蝕機(jī),商道酬信!精良的產(chǎn)品質(zhì)量是我們的根本,超客戶預(yù)期是我們的自我需求,顯影設(shè)備,真誠守信是我們的原則,我們的目標(biāo)是提升中國濕制程設(shè)備制造水平和服務(wù)
清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)
超聲波清洗機(jī)是利用超聲波發(fā)生器產(chǎn)生的的超音頻電信號,通過換能器的壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)換成同頻率的機(jī)械振蕩,并以超音頻機(jī)械波的形式在清洗液中輻射.由于超音頻機(jī)械波傳播的正壓區(qū)和負(fù)壓區(qū)交替作用,產(chǎn)生無數(shù)超過1000個大氣壓的微小氣泡,形成對清洗物表面的細(xì)微局部高壓轟擊,使物體表面及縫隙之中的污垢迅速剝落,這就是超聲波清洗機(jī)所特有的“空化效應(yīng)”.人們利用這一“空化效應(yīng)”把超聲波清洗機(jī)廣泛的應(yīng)用在:
航空、航天;2鐵路;3汽車、摩托車制造業(yè);4光學(xué)器件;5液晶(lcd)制造;6電子制計算機(jī);7微電子;8電子電器元器件;9五金沖壓件;10機(jī)械的零件;11家電產(chǎn)品;12電鍍,真空鍍;13鐘表、眼鏡、珠寶;14電機(jī),微電機(jī);15容器類;16醫(yī)學(xué)器具;17中藥材有效成份萃取;18維修清洗--各種設(shè)備,設(shè)施,交通運(yùn)輸車輛工具,家用電器維修中的除油,除塵,除垢清洗;印刷行業(yè)的膠輥、絲印網(wǎng)清洗,打印機(jī)噴頭清洗,cd/vcd/dvd光盤等領(lǐng)域生產(chǎn)加工過程中或終端的除油、除蠟、粉塵,松香等污染物的清洗。
在批次清洗工藝還是在單晶圓清洗工藝中,顯影,傳統(tǒng)的浸沒清洗仍起主導(dǎo)作用。在單晶圓清洗工藝時,這一趨勢由于太陽電池清洗技術(shù)的需求而強(qiáng)化。該技術(shù)中,由于被加工襯底的剪切數(shù)目(shear number),可選用批次加工方法??梢允惯x擇氣相清洗化學(xué)過程與批次加工兼容。但同時,單晶圓清洗方法(如旋轉(zhuǎn)清洗)正推進(jìn)到應(yīng)用領(lǐng)域。
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