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分流式分子泵應(yīng)用于氦質(zhì)檢漏儀

渦輪分子泵與油擴(kuò)散泵相比具有啟動(dòng)快，有機(jī)蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng)，即使檢漏儀不用液氮冷阱，質(zhì)譜室也不致嚴(yán)重沾污，并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高，并且延長(zhǎng)離子源的使用壽命.代理德國(guó)分流式分子泵SplitFlow獨(dú)立機(jī)械和真空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)，國(guó)際

愛(ài)發(fā)科氦質(zhì)譜檢漏儀生廠(chǎng)商.分流式分子泵客戶(hù)案例:某國(guó)內(nèi)愛(ài)發(fā)科檢漏儀生產(chǎn)商，選用德國(guó)SplitFlow80分子泵集成于氦質(zhì)譜檢漏儀中.

分流式渦輪分子泵SplitFlow優(yōu)點(diǎn)

緊湊設(shè)計(jì)，占地空間小

對(duì)所有氣體的高抽吸能力和極高壓縮比

集成分子泵控制器

防護(hù)類(lèi)型IP54適合于工業(yè)用途

準(zhǔn)S2和UL/CSA認(rèn)證

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控保證分子泵運(yùn)行安全性

渦輪分子泵應(yīng)用于超高真空互聯(lián)裝置渦輪分子泵應(yīng)用于超高真空互聯(lián)裝置

超高真空互聯(lián)系統(tǒng)一般是通過(guò)RDC傳樣裝置將不同的超高真空腔體連接起來(lái)，ULVACNRL60A干式真空泵保養(yǎng)，例如:快速進(jìn)樣室，樣品生長(zhǎng)腔，襯底制備腔，電子結(jié)構(gòu)分析腔等，傳樣過(guò)程中保證超高真空量級(jí)的真空增量，超高真空互聯(lián)系統(tǒng)很多可以連接8個(gè)腔體左右，極限真空好于1E-10mbar！

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傳統(tǒng)的產(chǎn)品設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)過(guò)程，常被當(dāng)作是研制產(chǎn)品的一個(gè)步驟，因?yàn)楫a(chǎn)品的設(shè)計(jì)者不可能對(duì)上市時(shí)間、質(zhì)量與可靠性、生產(chǎn)成本、售后及易維護(hù)性等全盤(pán)掌握，使用傳統(tǒng)過(guò)程設(shè)計(jì)的產(chǎn)品在投入生產(chǎn)時(shí)不可避免地需要進(jìn)行反復(fù)修改。產(chǎn)品生命周期設(shè)計(jì)方法通過(guò)提議、調(diào)查、實(shí)驗(yàn)室原型、生產(chǎn)原型、試運(yùn)行和量產(chǎn)六個(gè)步驟來(lái)推動(dòng)和設(shè)計(jì)過(guò)程，

在這些設(shè)計(jì)過(guò)程推進(jìn)時(shí)，采用各種各樣的測(cè)試和多個(gè)部門(mén)參與的交互式討論和分析來(lái)決定產(chǎn)品設(shè)計(jì)方案和方向，而這其中的關(guān)鍵就是各種測(cè)試。為了驗(yàn)證各種不同的設(shè)計(jì)，執(zhí)行了遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的大量測(cè)試，在量產(chǎn)之前陸續(xù)生產(chǎn)了多達(dá)1000余臺(tái)樣泵，對(duì)各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行測(cè)試和分析，很終產(chǎn)品定型時(shí)，僅選用了結(jié)果很佳的結(jié)構(gòu)和方案。

擴(kuò)展測(cè)試

壽命測(cè)試在通過(guò)對(duì)有統(tǒng)計(jì)學(xué)意義數(shù)量的泵進(jìn)行加速壽命測(cè)試（長(zhǎng)時(shí)間暴露于加速損壞的條件下），對(duì)泵的可靠性進(jìn)行驗(yàn)證。該測(cè)試可確保泵無(wú)故障運(yùn)行的平均時(shí)間超過(guò)五年。

沖擊測(cè)試對(duì)一批泵在運(yùn)行和非運(yùn)行條件下進(jìn)行一系列測(cè)試，證明泵的抗沖擊性。每個(gè)泵受到30–120g的加速度，相當(dāng)于從82厘米/32英寸高跌落（處于非運(yùn)行狀態(tài)的泵）和從15厘米/6英寸高跌落（處于運(yùn)行狀態(tài)的泵）。

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渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著我國(guó)機(jī)械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴(kuò)大它的市場(chǎng)占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對(duì)渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。

典型的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng) ，抽氣系統(tǒng)設(shè)置分開(kāi)的粗抽管道和前級(jí)管道，這種系統(tǒng)和常用的擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)類(lèi)似，其粗抽管道和前級(jí)管道的基本配置與擴(kuò)散泵不同。擴(kuò)散泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要求前級(jí)泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時(shí)前級(jí)壓力能低于臨界前級(jí)壓力，在渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)中，要選擇具有足夠容量的前級(jí)泵，使很靠近前級(jí)管道的葉片在很大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。

大多數(shù)渦輪分子泵的很大穩(wěn)態(tài)進(jìn)氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級(jí)壓力P2約為30Pa。因?yàn)榕艢饬繛橐怀?shù)，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級(jí)泵抽速之S1/S2比應(yīng)該在30到60的范圍內(nèi)，對(duì)于很大的對(duì)氫壓縮比小于500的泵來(lái)說(shuō)，其級(jí)配比應(yīng)該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導(dǎo)規(guī)；6-粗抽閥；7-機(jī)械泵；8-前級(jí)管路閥；9-高真空閥。

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