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由于潔凈室是密閉性很強(qiáng)的建筑,其安全疏散成為非常重要和突出的問題,和凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置也有密切關(guān)系。一般應(yīng)注意以下幾點(diǎn):1.每一生產(chǎn)層防火區(qū)或潔凈區(qū)至少設(shè)2個(gè)安全出口,天津芯片廠凈化工程,只有面積小于50?,人員少于5人時(shí),可允許只設(shè)一個(gè)安全出口。2.人凈入口不應(yīng)作疏散出口。因?yàn)槿藘袈肪€往往迂回曲折,一旦煙火迷漫,要求人員很快跑到室外是很困難的事。3.吹淋室不能作為一般出入通道,由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或自動(dòng),天津芯片廠凈化車間,一旦出現(xiàn)故障,非常影響疏散,所以一般均在吹淋室設(shè)旁通門,工作人員多于5人時(shí)必須設(shè)此門。平時(shí)工作人員出潔凈室時(shí)不應(yīng)走吹淋室而應(yīng)走旁通門。
潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門,考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要,其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間,因?yàn)橐繅毫Π验T壓緊,這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時(shí)潔凈和緊急疏散時(shí)的兩方面要求,規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對(duì)待,其開啟方向一律朝向疏散方向,天津芯片廠凈化車間裝修,當(dāng)然,單設(shè)的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結(jié)構(gòu)和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。
半導(dǎo)體制造及封裝測(cè)試的各個(gè)工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生,主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機(jī)廢水為主。⑴酸堿廢水:對(duì)于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi),時(shí)間間歇性強(qiáng)。在排放水體或進(jìn)行生物處理或化學(xué)處理之前,天津芯片廠凈化,必須進(jìn)行中和,使廢水pH值達(dá)到6.5~8.5。但對(duì)于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達(dá)3%~5%的廢水,應(yīng)首先考慮其回收。⑵含氟廢水:含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法,即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀,然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。
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