1.該設備為單工位多工能清洗工藝，主要由：旋轉洗劑刷洗、旋轉噴淋漂洗及旋轉甩干三部分組成；整個清洗流程為全自動工作方式；只需人員完成放料出即可；

2.該設備設計合理，充分考慮了環(huán)保和節(jié)能的要求；

3.采用全封閉式結構，設備封罩前、上、左右設透明鋼化玻璃；可時時觀察產(chǎn)品清洗情況；

4.設備后部設有洗劑副槽和漂洗水副槽，大興安嶺地顯影，設備底部設有各自供液泵；

5、旋轉機構主要由：電機、旋轉基座、旋轉盤、產(chǎn)品及工裝組成；

6、旋轉盤轉速由三菱變頻器控制；

7、設封罩上設有排氣口，保持運行時的風始終外溢，避免清洗室內(nèi)產(chǎn)生水汽，也不會對清洗的產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染；

8、設備正面設有后翻式氣缸門，供進出料用；

9、每個工藝工序清洗、刷干時間可跟據(jù)實際情況在觸摸上設定；

(2)不供油 如果是不供油，則要檢查油泵是否在正常工作，打開回油管，查看回油管內(nèi)是否有正常的油回出，如果有油回出則可判定是供油電磁閥沒有工作。解決方法是用萬用表量一下電磁閥是否損壞(一般為24Ω左右)，如果電磁閥損壞則更換電磁閥；如沒有損壞，就需要檢查它是否接收到電壓信號；如沒有電壓信號，則可判定為電路故障，這時要從溫控到壓力開關、流量閥、油位開關逐一檢查，顯影清洗機，哪里不通即可判定故障所在位置，修復即可解決。如無正?；赜蛣t可判定是油泵損壞，更換或修復即可

適用于硅片晶圓濕法清洗、濕法刻蝕、顯影、去膠、LIFT-OFF等工藝；標準吸盤適用于2-12英寸晶圓，其它規(guī)格可定制；一體式清洗腔體；進口伺服電機控制，顯影設備，轉速及工藝時間參數(shù)可自由設定；采用進口旋轉電機，運行安靜平穩(wěn)，故障率低；真空吸盤采用PEEK PTFE材質(zhì)，顯影腐蝕機，強度高、耐腐蝕、密封性能好；載片臺采用真空吸附 PIN定位，防止甩片碎片；真空度≤-100KPa；化學液及純水自動供應，流量可視可調(diào)；可裝配裝取片機器人；配套藥液供應系統(tǒng)；配有兆聲清洗，兆聲頻率280-950KHz可選，功率連續(xù)可調(diào)；可配置滾刷刷洗；

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