濕法清洗 ：

      濕法清洗采用液體化學(xué)溶劑和DI水氧化、蝕刻和溶解晶片表面污染物、有機(jī)物及金屬離子污染。通常采用的濕法清洗有RCA清洗法、稀釋化學(xué)法、 IMEC清洗法、單晶片清洗等。

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清洗安全操作規(guī)范：

(1)操作前，一定要檢查工作臺(tái)通風(fēng)是否良好，如有異常，向上級匯報(bào)或向動(dòng)力保障部門說明情況，請求調(diào)整；

(2)在通風(fēng)櫥里開啟藥品，顯影清洗，并一定要戴上口罩、塑膠手套和防酸手套；

(3)試劑開啟前，都必須將外面的塑料袋、橡皮筋取下并扔進(jìn)垃圾桶；

(4)擰開藥品蓋后，取下瓶口的塑封膜并扔進(jìn)垃圾桶，在傾倒藥品時(shí)，一定要確定塑封膜是否在瓶上。

超聲波清洗機(jī)的日常保護(hù)與保養(yǎng)

      1、維持清洗機(jī)的任務(wù)場合的通風(fēng)、枯燥、干凈，有利于裝備的臨時(shí)·運(yùn)轉(zhuǎn)及優(yōu)化任務(wù)環(huán)境條件；

　　2、洗凈液過于齷齪時(shí)應(yīng)及時(shí)處理，活期清洗槽、貯液槽內(nèi)污垢，邵陽顯影，維持洗凈槽內(nèi)及外觀的干凈，可進(jìn)步洗凈槽的耐用性；

　　3、電氣掌握箱及裝備通風(fēng)口遠(yuǎn)離水蒸汽、侵蝕性氣體、粉塵，活期用收縮空氣附著的灰塵；

　　4、活期測試裝備的絕緣性能，顯影設(shè)備，超聲波清洗·于易老化電氣組件活期檢討，檢討接地線，確保裝備良好接地此名目須由具備經(jīng)歷的電工進(jìn)行，；

　　5、活期測試電源，確認(rèn)契合裝備的電源電壓請求，顯影清洗機(jī)，避開在過高或過低的不穩(wěn)固電源下臨時(shí)任務(wù)；

　　6、帶有過濾安裝的裝備，活期改換過濾芯；清洗機(jī)同時(shí)供給濾芯超聲波清洗機(jī)。

　　7、帶有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的，應(yīng)按請求活期加注黃油、機(jī)油等光滑劑，活期改換加速機(jī)齒輪油，確保靜止機(jī)件在良好光滑條件下任務(wù)；

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