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傳統的產品設計和開發(fā)過程,常被當作是研制產品的一個步驟,因為產品的設計者不可能對上市時間、質量與可靠性、生產成本、售后及易維護性等全盤掌握,使用傳統過程設計的產品在投入生產時不可避免地需要進行反復修改。產品生命周期設計方法通過提議、調查、實驗室原型、生產原型、試運行和量產六個步驟來推動和設計過程,
在這些設計過程推進時,采用各種各樣的測試和多個部門參與的交互式討論和分析來決定產品設計方案和方向,而這其中的關鍵就是各種測試。為了驗證各種不同的設計,執(zhí)行了遠超行業(yè)標準的大量測試,在量產之前陸續(xù)生產了多達1000余臺樣泵,愛發(fā)科分子泵UTM-150維修,對各項結構和功能參數進行測試和分析,很終產品定型時,僅選用了結果很佳的結構和方案。
擴展測試
壽命測試在通過對有統計學意義數量的泵進行加速壽命測試(長時間暴露于加速損壞的條件下),對泵的可靠性進行驗證。該測試可確保泵無故障運行的平均時間超過五年。
沖擊測試對一批泵在運行和非運行條件下進行一系列測試,證明泵的抗沖擊性。每個泵受到30–120g的加速度,相當于從82厘米/32英寸高跌落(處于非運行狀態(tài)的泵)和從15厘米/6英寸高跌落(處于運行狀態(tài)的泵)。
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噪音測試通過在以下12種不同運行狀態(tài)和方向下對一批泵進行一系列測試,來驗證泵噪音:垂直、水平和翻轉位置;高溫和低溫;全速和低速。在正常運行狀態(tài)下,168次測量得到的平均噪音為41dB(A) /-3σ。包裝測試通過對帶包裝的泵進行測試來驗證包裝性能,在測試時,肇慶愛發(fā)科分子泵,使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運輸過程中不會因跌落或運輸而損壞。
無論從科技或是經濟發(fā)展的角度來看,重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數據、物聯網等新興技術的發(fā)展源源不斷地給半導體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術作為一門與應用科學緊密結合的現代基礎科學,在半導體行業(yè)有著廣泛的應用。其中,分子泵作為很多半導體制造設備的零部件之一,廣泛應用于IC生產制造的各個工藝。
下面小編就帶您走進半導體產業(yè)鏈,并一起探索分子泵在半導體行業(yè)的應用。半導體產業(yè)鏈包括上游的半導體支撐產業(yè),中游的半導體制造產業(yè)以及下游的半導體應用產業(yè)。半導體支撐產業(yè)包括半導體材料及設備,其中真空產品主要在半導體設備領域應用;中游半導體制造的是集成電路制造,包括IC設計、IC制造以及IC封測;下游的半導體應用領域眾多,半導體應用領域的行業(yè)是通信及智能手機、PC/平板、工業(yè)/。
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半導體產業(yè)鏈IC制造行業(yè)屬于典型的技術密集型行業(yè),產品技術含量非常高,同時對配套產業(yè)要求較高,其中就包括真空設備配套產業(yè)。真空設備(真空閥、真空泵、真空腔體及管道等)是半導體各工藝制程環(huán)節(jié)必備的通用設備,廣泛應用于芯片生產制造過程。 半導體制造設備及工藝流程半導體器件的生產制造工藝極其復雜,需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學操作,例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的刻蝕處理等。
這些復雜的生產制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進行,愛發(fā)科分子泵維修費用,而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵在半導體設備中的應用.在半導體生產制造工藝中,分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關鍵設備。光刻機光刻機是生產大規(guī)模集成電路的設備,制造和維護需要高度的光學和電子工業(yè)基礎,世界上只有少數廠家掌握,愛發(fā)科分子泵UTM-480價格,因此光刻機價格昂貴。
光刻機光刻過程必須在高真空環(huán)境中實現,原因是極紫外光很嬌貴,在空氣中容易損耗。同時,在光刻過程中,設備的動作時間誤差以皮秒計,這對磁懸浮分子泵的振動值要求極高。(注:皮秒=兆分之一秒)薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜,這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成,是使用多種工藝生長或沉積的。
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