此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少，對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越先進(jìn)，對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響，周轉(zhuǎn)箱噴淋清洗機(jī)價(jià)格，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

2000年成立濟(jì)南鑫能信洗凈設(shè)備有限公司，沖壓件噴淋清洗機(jī)價(jià)格，于2007年公司和山東大學(xué)合作注冊(cè)濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司，從事超聲波清洗設(shè)備、中高壓噴洗設(shè)備的的研發(fā)、制造與銷(xiāo)售?？偛课挥跐?jì)南市臨港開(kāi)發(fā)區(qū)，總注冊(cè)資本金800萬(wàn)元，標(biāo)準(zhǔn)化廠房面積13000余平方米，年產(chǎn)值4000多萬(wàn)元。

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡(jiǎn)介

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)

槽體部分： 設(shè)備槽體分內(nèi)外兩層，內(nèi)層槽體采用2.0ｍｍ厚SUS304不銹鋼焊接成形，外槽采用1ｍｍ不銹鋼板制做，此設(shè)計(jì)既能解決傳統(tǒng)超重工件的清洗的承重問(wèn)題又可避免溶液對(duì)槽體的腐蝕；

清洗成本低：可使用普通水或酒精加少許溶劑作為清洗劑，省去一定人工成本；

2. 性：采用換能器清洗效果好，超聲波功率強(qiáng)勁，；

3. 批量連續(xù)性：超聲波清洗設(shè)備可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，適應(yīng)批量生產(chǎn)；

4. 節(jié)能環(huán)保：整個(gè)清洗工序?yàn)樽詣?dòng)超聲模式，雜志均沉淀于于清洗液體中，無(wú)粉塵污染無(wú)噪音；

5. 操作方便：清洗設(shè)置操作簡(jiǎn)單，寧波噴淋清洗機(jī)價(jià)格，設(shè)備自配底輪，可自由移動(dòng)或固定；

6. 使用壽命長(zhǎng)：設(shè)備全不銹鋼材質(zhì)，美觀耐用。部件換能器采用膠接技術(shù)，脫落。

設(shè)備的工作原理就是將碳?xì)湓谡婵諣顟B(tài)下進(jìn)行噴淋，與腔體內(nèi)工件淬火油冷后附著的油脂發(fā)生溶解反應(yīng)，通過(guò)蒸汽浴洗、烘干等多個(gè)其他工序，終使工件表面光亮、盲孔狹縫無(wú)油污殘留。

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