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藍(lán)寶石襯底晶片是LED產(chǎn)業(yè)鏈的環(huán)節(jié),以往這種產(chǎn)品的制造技術(shù)被國外公司壟斷。目前,國產(chǎn)顯示、通訊、照明等器材上使用的LED襯底晶片基本上依賴進(jìn)口。國內(nèi)只能出口藍(lán)寶石晶體或到海外,加工成襯底材料后再返銷國內(nèi)。
受益于下游led芯片需求旺盛,繼3月調(diào)價后,近期2英寸藍(lán)寶石襯底從4美元漲至7美元,4英寸藍(lán)寶石襯底從30美元漲至35美元。業(yè)內(nèi)認(rèn)為,藍(lán)寶石應(yīng)用逐步擴大有助價格延續(xù)漲勢。擬在A股上市的玻璃蓋板廠商藍(lán)思科技新披露招股書顯示,將投入18億元用于藍(lán)寶石擴產(chǎn),由于產(chǎn)能遠(yuǎn)超過iPhone需求,市場推斷公司將生產(chǎn)手機用藍(lán)寶石蓋板等,并供應(yīng)給非蘋果陣營手機。
業(yè)內(nèi)認(rèn)為,led照明應(yīng)用暴發(fā)疊加藍(lán)寶石手機蓋板滲透率提升,藍(lán)寶石長晶及相關(guān)設(shè)備需求將大幅提升甚至出現(xiàn)供應(yīng)缺口。國內(nèi)公司中,天通股份擁有自主研發(fā)的大尺寸長晶爐設(shè)備,形成了從長晶、掏棒、切磨拋的完整產(chǎn)業(yè)鏈;大族激光即將向蘋果提供首批激光切割機,未來有望占據(jù)手機藍(lán)寶石切割70%-80%市場份額。
硅片清潔分類
2.化學(xué)清洗
化學(xué)清洗是為了除去原子、離子不可見的污染,方法較多,有溶劑萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各種混合酸等)和等離子體法等。其中雙氧水體系清洗方法效果好,環(huán)境污染小。一般方法是將硅片先用成分比為H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的強氧化性,將有機物分解而除去;用超純水沖洗后,再用成分比為H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的堿性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的絡(luò)合作用,許多金屬離子形成穩(wěn)定的可溶性絡(luò)合物而溶于水;然后使用成分比為H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液,由于H2O2的氧化作用和鹽酸的溶解,以及氯離子的絡(luò)合性,許多金屬生成溶于水的絡(luò)離子,從而達(dá)到清洗的目的。
示蹤原子分析和質(zhì)譜分析表明,采用雙氧水體系清洗硅片效果好,同時所用的全部化學(xué)試劑H2O2、NH4OH、HCl能夠完全揮發(fā)掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片時,在硅片表面會留下約2×1010原子每平方厘米的硫原子,用后一種酸性清洗液時可以完全被清除。用H2O2體系清洗硅片無殘留物,有害性小,也有利于工人健康和環(huán)境保護(hù)。硅片清洗中用各步清洗液處理后,清洗廢布銀漿能回收嗎,都要用超純水沖洗。
生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體主要消耗的原料為5N高純氧化體,塊體 。目前國內(nèi)生產(chǎn)高純氧化鋁的主流技術(shù)有三種:多重結(jié)晶法、醇鹽水解法、直接水解法。1, 多重結(jié)晶法具體又分為硫酸鋁銨熱解法和碳酸鋁銨熱解法。目前國內(nèi)山東,上海,貴州等地的廠家,多數(shù)采取這種方法。它的缺點就是金屬鐵、鎳、鈦、鋯等離子以及鹵素元素難以去除,純度可以達(dá)到4N,基本已經(jīng)極限了,實際是3個9;從純度上說,它的缺陷挺大,一般只能用在焰熔法寶石上,要直接拿來做大尺寸藍(lán)寶石晶體原料就很難。無法滿足要求。
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