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半導(dǎo)體設(shè)備是芯片加工、制造及封裝、測試的載體。因其研發(fā)技術(shù)難度大,成本高而制約著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。本文以半導(dǎo)體設(shè)備研
發(fā)過程中出現(xiàn)的鋁制腔體水路堵塞、腐蝕問題為研究對象,針對其現(xiàn)象及成因分析進(jìn)行討論并找尋解決辦法。
鋁合金因其優(yōu)良的性能,廣泛應(yīng)用為半導(dǎo)體設(shè)備的腔體材料。材料加工性上,鋁合金比不銹鋼成本低、重量輕、加工速度快;物理特
性上,其具備高導(dǎo)熱性、低磁導(dǎo)率和低碳等優(yōu)點;鋁合金無銹、不發(fā)塵,對潔凈環(huán)境無損傷;并能更好的承受清洗、刻蝕等工藝所產(chǎn)生的氟離子侵蝕。
(2)電氣連接。封裝的尺寸調(diào)整(間距變換)功能可由芯片的極細(xì)引線間距,調(diào)整到實裝基板的尺寸間距,從而便于實裝操作。例如從以亞微米(目前已達(dá)到0.1 3μm以下)為特征尺寸的芯片,到以10μm為單位的芯片焊點,再到以100μm為單位的外部引腳,劍以毫米為單位的印刷電路板,都是通過封裝米實現(xiàn)的。封裝在這里起著由小到大、由難到易、由復(fù)雜到簡單的變換作用,從而可使操作費用及材料費用降低,陽泉堿,而且能提高工作效率和可靠性,堿腐蝕清洗設(shè)備,特別是通過實現(xiàn)布線長度和阻抗配比盡可能地降低連接電阻,寄生電容和電感來保證正確的信號波形和傳輸速度。
3 封裝的分類半導(dǎo)體(包括集成電路和分立器件)其芯片的封裝已經(jīng)歷了好幾代的變遷,從DIP、SOP、QFP、PGA、BGA到MCP再到SIP,技術(shù)指標(biāo)一代比一代先進(jìn),堿腐蝕,包括芯片面積與封裝面積之比越來越接近于1,適用頻率越來越高,耐溫性能越來越好,引腳數(shù)增多,引腳間距減小,重量減小,可靠性提高,使用更加方便等等。封裝(Package)可謂種類繁多,即它的優(yōu)點和不足之處,當(dāng)然其所用的封裝材料、封裝設(shè)備、封裝技術(shù)根據(jù)其需要而有所不同。
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