半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，天津?qū)嶒炇覂艋こ虉髢r，通常使用風(fēng)機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。

電子廠房的潔凈車間都要求潔凈度和室內(nèi)空氣參數(shù)

電子廠房的潔凈車間都要求潔凈度和室內(nèi)空氣參數(shù)，電子廠房裝修步驟中要注意車間潔凈度的要求級別是千級、萬級還是十萬級，天津?qū)嶒炇覂艋こ坦?，潔凈度不同選用的材料和設(shè)備是不一樣的。室內(nèi)空氣參數(shù)包括溫濕度要求、新風(fēng)量和送風(fēng)量。這類電子車間內(nèi)人員比較多，為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度和溫濕度，新風(fēng)量和送風(fēng)量的要求都比較大。

電子廠房裝修步驟中要還要注意的是頂部，電子廠房的頂部一般都比較高，天津?qū)嶒炇覂艋こ虄r格，大多數(shù)都是鋼結(jié)構(gòu)框架，在裝修頂部時先要合理安排設(shè)計消防、通風(fēng)、及中央空調(diào)。如果要吊頂?shù)模杩紤]吊頂材料，通過我們可以選擇礦棉吸音板、石膏板、鋁塑板等材料作為吊頂材料。

不只是空調(diào)系統(tǒng)，天津?qū)嶒炇覂艋こ蹋瑑艋囬g系統(tǒng)中還包括有真空，空壓，氮氣，純水，廢水，二氧化碳系統(tǒng)，制程排氣系統(tǒng)，檢測標準：1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

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