凈化廠房的凈化車間設(shè)備

凈化廠房的凈化車間設(shè)備：凈化車間進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝新風(fēng)過濾箱、凈化空調(diào)末端要有送風(fēng)口。必要時要安裝凈化增壓箱。凈化車間回風(fēng)系統(tǒng)：回風(fēng)口、過濾初效器、中效回風(fēng)箱；凈化車間前入緩沖區(qū)：緩沖區(qū)門安裝電子互鎖，天津芯片廠凈化車間裝修，更衣處放置潔凈儲衣柜、空氣清新機(jī)凈化廠房裝修中人、貨物進(jìn)入凈化車間必須經(jīng)過風(fēng)淋室（貨淋室），傳遞窗傳遞小物品；凈化廠房裝修中在凈化車間局部需要達(dá)到10——1000級的地方安裝垂直層流工作臺、層流罩（FFU）潔凈棚（可移動式工作棚）、自凈器。測無塵室潔凈度用激光塵埃粒子計數(shù)器。

潔凈室設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級別一般都較

內(nèi)廊式：潔凈室設(shè)在外圍，天津芯片廠凈化工程施工，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，天津芯片廠凈化，甚至和潔凈室同級。兩端式：潔凈區(qū)設(shè)在一邊，天津芯片廠凈化工程，另一邊設(shè)準(zhǔn)潔凈和輔助用房。式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。為了在操作中盡量減少人活動產(chǎn)生的污染，人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡稱“人凈”。

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

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