氦氖激光器上有磁體。磁體為筒形，激光器上加的是縱向磁場(chǎng)，稱為縱向塞曼雙頻激光器。四分之一波長(zhǎng)（λ/4）片把激光器輸出的左旋和右旋光變成偏振態(tài)互相垂直的線偏振光。前文所說(shuō)的雙折射-塞曼雙頻激光器則是在激光器內(nèi)置入雙折射元件（圖內(nèi)未畫(huà)出），并加圖2所示的磁條。雙折射元件使激光器形成雙頻，橫向磁場(chǎng)消除兩個(gè)頻率之間的耦合。雙折射-塞曼雙頻激光干涉儀不需使用四分之一波長(zhǎng)片。雙頻激光器是雙頻激光干涉儀的**，很大程度上，它的性能決定激光干涉儀的性能，要求波長(zhǎng)（頻率）精度高，功率大，蘇州組合式激光干涉儀概念，壽命長(zhǎng)，雙頻間隔（頻差）大且穩(wěn)定，偏振狀態(tài)穩(wěn)定，蘇州組合式激光干涉儀概念，蘇州組合式激光干涉儀概念，兩頻率之間不偏振耦合。這一問(wèn)題的解決是作者較突出的貢獻(xiàn)之一。通用組合水平式檢測(cè)干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一款高性能模塊化組合激光檢測(cè)干涉儀。蘇州組合式激光干涉儀概念

通用組合水平式檢測(cè)干涉儀（數(shù)字化相移分析系列）是一款高性能模塊化組合激光檢測(cè)干涉儀。它依據(jù)可模塊化組合的設(shè)計(jì)理念和通過(guò)不同的組合模式，靈活地滿足不同的檢測(cè)需求。進(jìn)而在結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、適用于多種被測(cè)面的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實(shí)現(xiàn)高精度、多功能的檢測(cè)，從而**降低檢測(cè)成本。此款干涉儀解決了被檢測(cè)對(duì)象的不確定與檢測(cè)系統(tǒng)相對(duì)固定之間的匹配問(wèn)題，以及由此帶來(lái)的現(xiàn)有儀器實(shí)用性受限問(wèn)題。它不僅實(shí)現(xiàn)了干涉測(cè)量技術(shù)的更新?lián)Q代，而且填補(bǔ)了制造業(yè)和國(guó)家質(zhì)檢部門(mén)對(duì)高精度平面檢測(cè)設(shè)備需求的空白。蘇州光學(xué)平面激光干涉儀原理光學(xué)鏡片檢測(cè)、光學(xué)組件檢測(cè)，相機(jī)鏡頭檢測(cè)，安防鏡頭和車(chē)載鏡頭檢測(cè)。

基本上，激光干涉儀都使用氦氖激光器的632.8nm波長(zhǎng)的光，橙紅燦爛的光束射向遠(yuǎn)方，發(fā)散角可以小到0.1mrad，光束截面的光斑均勻。氦氖激光器還可輸出綠光、黃光、紅外光，但只有632.8nm波長(zhǎng)的光適合作激光干涉儀的光源。其它類(lèi)型的激光器，如半導(dǎo)體（LD）、固體激光器等的相干等性能都遠(yuǎn)不及氦氖激光器，研究人員多有嘗試，但都沒(méi)有成功。激光干涉儀有很多應(yīng)用，但本質(zhì)都是測(cè)量中學(xué)課本講的“位移”，諸多應(yīng)用都是“位移”的延伸和轉(zhuǎn)化。激光干涉儀有兩個(gè)主流類(lèi)型：?jiǎn)晤l激光干涉儀和雙頻激光干涉儀。

干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類(lèi)， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。干涉儀的應(yīng)用極為***，主要有如下幾方面：長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或***測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。 應(yīng)用領(lǐng)域：大平板顯示（平面檢測(cè)）。

激光干涉儀是精度比較高的線性位移測(cè)量?jī)x器，其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值，偏離我們的預(yù)估，以至于在高精度檢測(cè)時(shí)，對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。***我們來(lái)扒一扒引起激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因。

1、 阿貝誤差：測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差，因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn)，引起的阿貝誤差越大。 可實(shí)現(xiàn)90°直角棱鏡和角錐測(cè)量。江蘇水平式激光干涉儀

一次測(cè)量后可同時(shí)顯示多區(qū)域測(cè)量結(jié)果、光學(xué)平行度和材料均勻性的測(cè)量， 90°直角棱鏡和角錐測(cè)量。蘇州組合式激光干涉儀概念

把一束激光用分光鏡分成兩路，這兩路光是頻率相同的，調(diào)整兩路光的行程差（只是激光波長(zhǎng)的一半，很微小），使得這兩路光有相位差；它們平行疊加時(shí)就產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。我們把這種激光設(shè)想為正弦波，如下圖，當(dāng)2個(gè)頻率相同且相差1/4個(gè)波長(zhǎng)的正弦波疊加時(shí)，振幅有的地方變強(qiáng)了（這對(duì)應(yīng)著光的強(qiáng)度變大了，亮些），有的地方變?nèi)趿耍ㄟ@對(duì)應(yīng)著光的強(qiáng)度減弱了，暗些）；所以，2個(gè)亮條紋中心之間的距離表示該激光的1/2個(gè)“波長(zhǎng)”；只要在1米長(zhǎng)的范圍內(nèi)計(jì)算有多少個(gè)亮條紋，就可以知道此激光的“波長(zhǎng)”是多少，從而知道它的“頻率”是多少了。蘇州組合式激光干涉儀概念

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