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凈化車間風(fēng)管的制作,這個的工作人員會比較熟悉,是一項很基礎(chǔ)的工作。風(fēng)管制作的要求是非常高的,天津芯片廠凈化車間施工,一般都是會在封閉的環(huán)境中進(jìn)行制作,墻面需要很光滑,而且不容易出現(xiàn)灰塵,同時鋪設(shè)的地板要厚,沒有灰塵。工作人員在這樣的環(huán)境中,一定要穿戴專門的衣帽,保持干凈整潔。制作期間,天津芯片廠凈化車間裝修,需要使用酒精進(jìn)行擦拭,主要目的就是消毒。對于規(guī)格不合適的風(fēng)管,需要采取合適的方法。
潔凈室的門窗造型要簡單、平整、不易積塵、易于清洗,天津芯片廠凈化車間,密封性能好。門窗不應(yīng)采用木質(zhì)等引起微生物繁殖的材料,以免生霉或變形。門窗與內(nèi)墻宜平整,不應(yīng)設(shè)門檻,天津芯片廠凈化,不留窗臺。潔凈室內(nèi)的門寬度應(yīng)能滿足一般設(shè)備安裝、修理、更換的需要。氣閘室、貨淋室的出入門應(yīng)有不能同時打開的措施。潔凈廠房每層高度應(yīng)滿足潔凈室操作面凈高和技術(shù)夾層布置管線要求的凈空高度。需在技術(shù)夾層內(nèi)更換過濾器的技術(shù)夾層墻面、頂棚宜刷涂料飾面。
廢氣工程:由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類:酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。
空壓氣體工程:螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成:空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。
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