氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場合包括微電子工藝設(shè)備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。

如何通過質(zhì)量流量控制器判斷沒有氣體通過？

質(zhì)量流量控制器（MFC）是用來控制氣體流量的，質(zhì)量流量計（MFM）是用來測量氣體流量，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。  當(dāng)然MFC還是有檢測方法的，空氣流量控制器報價，如果通過氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設(shè)定一個大流量，MFC會反饋一個值，這個值就是氣體的流量。  如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來了，因為MFC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，空氣流量控制器價格，壓力比較小就沒辦法測量了，空氣流量控制器公司，就需要抵壓損的MFM。

氣體質(zhì)量流量控制器流速和流量之間的關(guān)系

流量通常分為體積流量、質(zhì)量流量和重量流量三種：

體積流量的公式為Q=VS，Q代表氣體的體積流量（m/s），V代表氣體的平均流速（m/s），空氣流量控制器，S代表氣路管道的橫截面積（㎡）。

質(zhì)量流量則是M=ρQ=ρVS，M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s），ρ代表氣體的密度（kg/m），Q代表氣體的體積流量（m/s）。

重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM，G代表氣體的重量流量（kgf/s），γ代表氣體的介質(zhì)重度（N/㎡），M代表氣體的質(zhì)量流量（kg/s）。

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