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EDI超純水系統(tǒng)的優(yōu)勢:
1、無化學(xué)污染
樹脂的連續(xù)電解再生消除了對高腐蝕性化學(xué)品的需要。
如果前級RO系統(tǒng)工作正常,則無需清潔。如果異常,E-Cell的內(nèi)部設(shè)計(jì)足以應(yīng)對定期化學(xué)清洗。
E-Cell消除了對腐蝕性化學(xué)再生設(shè)備的資本投資。這些部件(如泵和合金)的安裝和維護(hù)成本已經(jīng)節(jié)省。
2、連續(xù)再生
連續(xù)再生取代間歇再生,從而無需備用離子交換設(shè)備。每個(gè)模塊可單獨(dú)進(jìn)行化學(xué)清洗,其余模塊可承受短期高流量。
EDI超純水設(shè)備電阻率下降原因有哪些?
3、pH值變化
EDI系統(tǒng)進(jìn)水CO2含量高。如果CO2含量大于10ppm,EDI系統(tǒng)就無法制備超純度水。
4、鐵污染
EDI系統(tǒng)運(yùn)行中的鐵污染是導(dǎo)致產(chǎn)水阻力逐漸下降的主要原因。如果原水和預(yù)處理系統(tǒng)中使用普通鋼管,而不進(jìn)行內(nèi)部防腐處理,電子純水設(shè)備廠家,則系統(tǒng)中的鐵含量會(huì)增加。鐵被腐蝕后,以Fe(OH)2的形式溶解在水中,進(jìn)一步氧化為Fe(OH)3。Fe(OH)2呈膠態(tài),F(xiàn)e(OH)3呈懸浮狀態(tài)。樹脂對鐵有很強(qiáng)的親和力,被樹脂吸附后會(huì)發(fā)生不可逆反應(yīng)。在處理陰陽離子交換水時(shí),陰陽離子床將被再生或清洗,以去除樹脂中的大部分鐵。然而,EDI設(shè)備在運(yùn)行中,沒有再生和清洗,水中的微量鐵會(huì)粘附在陰陽樹脂和陰陽膜上。鐵具有很強(qiáng)的導(dǎo)電性。在與陽離子樹脂反應(yīng)之前,保定電子純水設(shè)備,它接近EDI組件中的負(fù)膜水平,并在強(qiáng)電流作用下遷移到正膜。純鐵離子容易穿透,而膠體鐵化合物不容易穿透正極膜。它們吸附在陽膜表面,電子純水設(shè)備安裝,污染陰、陽膜,導(dǎo)致EDI組件的工作性能下降,出水水質(zhì)變差,電子超純水設(shè)備,電阻值逐漸降低。
超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導(dǎo)體成品率
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水可用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機(jī)械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率,隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細(xì)度的提高,對超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。
在超純水生產(chǎn)過程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標(biāo)稍有差異,就會(huì)使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。
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