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超聲波清洗 :
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。目前所用的超聲波清洗機(jī)中,空化作用和直進(jìn)流作用應(yīng)用得更多。
按頻率波可以分為三種,即次聲波、聲波、超聲波。次聲波的頻率為20Hz以下;聲波的頻率為20Hz~20kHz;超聲波的頻率則為20kHz以上。其中的次聲波和超聲波一般人耳是聽(tīng)不到的。超聲波由于頻率高、波長(zhǎng)短,SPM腐蝕臺(tái),因而傳播的方向性好、穿透能力強(qiáng),這也就是設(shè)計(jì)制作超聲波清洗機(jī)的原因。
單晶圓清洗(SWC)系統(tǒng),用于先進(jìn)的無(wú)損兆聲清洗??梢赃m用于易受損的帶圖案或無(wú)圖案的基片,包含帶保護(hù)膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達(dá)到*化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。NANO-MASTER的技術(shù)確保了聲波能量均勻分布到整個(gè)基片表面,SPM腐蝕機(jī),通過(guò)分布能量的zui大化支持的清洗,同時(shí)保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。
產(chǎn)品說(shuō)明
1、 該腐蝕機(jī)通過(guò)高壓噴淋及被蝕刻板直線運(yùn)動(dòng)形成連續(xù)不間斷進(jìn)料狀態(tài)進(jìn)行對(duì)工件腐蝕以提高生產(chǎn)效率;2、該機(jī)加大了噴淋與被蝕刻金屬板的有效面積和蝕刻均勻程度,無(wú)論在蝕刻效果、速度和改善操作者的環(huán)境及方便程度,都優(yōu)于潑濺式蝕刻;3、 經(jīng)反復(fù)實(shí)驗(yàn)噴射壓力在1-2 Kg/cm2的情況下被蝕刻工件上所殘留的蝕刻圬漬能被有效清處掉,使蝕刻速度在傳統(tǒng)蝕刻法上大大提高,由于該蝕刻機(jī)液體可循環(huán)再生使用,此項(xiàng)可大大降低蝕刻成本,也可達(dá)到環(huán)保加工要求。 ·該雙面腐蝕機(jī)可配備自動(dòng)烘干烘烘道,南通SPM,自動(dòng)雙面顯影機(jī),自動(dòng)上色機(jī),數(shù)控制版機(jī),堆金電鍍機(jī)可達(dá)到各種金屬加工行業(yè)的批量加工要求;·此機(jī)適合單雙面圖文腐蝕,亦能雕穿金屬形成鏤空效果,適合現(xiàn)有仍采用較老式的潑濺式蝕刻機(jī)或其它金屬加工廠升級(jí)設(shè)備。·該腐蝕機(jī)可對(duì)各種金屬如:鐵、銅、鋁、鈦金、不銹鋼、鋅版、等金屬和金屬制品的表面蝕刻圖紋、花紋、幾何形狀,并能*確鏤空。也可針對(duì)各種型號(hào)的國(guó)產(chǎn)和進(jìn)口不銹鋼進(jìn)行蝕刻和薄板切割,現(xiàn)在廣泛應(yīng)用于金卡標(biāo)牌加工、手機(jī)按鍵加工、不銹鋼濾網(wǎng)加工、不銹鋼電梯裝飾板加工、金屬引線框加工、金屬眼睛腳絲加工、線路板加工、裝飾性金屬板加工等工業(yè)用途。
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