什么是蝕刻機

或許在很多人看來，刻蝕技術(shù)并不如光刻機那般“”，但刻蝕在芯片的加工和生產(chǎn)過程中同樣不可或缺?？涛g機主要工作是按照前段光刻機“描繪”出來的線路來對晶片進行更深入的微觀雕刻，刻出溝槽或接觸孔，然后除去表面的光刻膠，鈦金銘牌蝕刻機技術(shù)，從而形成刻蝕線路圖案。

在芯片制造領(lǐng)域，光刻機像是前端，而蝕刻機就是后端。光刻機的作用是把電路圖描繪至覆蓋有光刻膠的硅片上，環(huán)保銘牌蝕刻機技術(shù)，而蝕刻機的作用就是按照光刻機描繪的電路圖把硅片上其它不需要的光刻膠腐蝕去除，完成電路圖的雕刻轉(zhuǎn)移至硅片表面。兩者一個是設(shè)計者，一個是執(zhí)行者，整個芯片生產(chǎn)過程中，需要重復使用兩種設(shè)備，直至將完整的電路圖蝕刻到硅晶圓上為止。

目前，我國在蝕刻機領(lǐng)域已達到世界先進水平，尤其是中微半導體成功突破研制的5nm蝕刻機已于其它企業(yè)，而且得到了臺積電的驗證。真正面臨技術(shù)挑戰(zhàn)，也是被卡脖子的領(lǐng)域是光刻機。不過日前中科院院長白春禮表示，已將光刻機等技術(shù)難度較高的產(chǎn)品列入科研清單，未來將集中力量對這些“卡脖子”的技術(shù)進行攻關(guān)。相信未來光刻機技術(shù)也會實現(xiàn)重大突破。

前面所描述的印法，圖文是以不同色彩的油墨來表現(xiàn)的，但在許多特殊的場合，諸如通訊設(shè)備的面板、尺板、度盤，或在惡劣環(huán)境下所適應的有機玻璃的圖文表示等，網(wǎng)印油墨的墨層有可能會產(chǎn)生一些弊端，采用色彩蝕刻機蝕刻的方法，會有所改善。

所謂彩色蝕刻，是指將醇溶性顏料，按不同的比列溶解于有機玻璃有侵蝕作用的中，使有機玻璃上的圖文表面溶解，待揮發(fā)后，顏色已與有機玻璃的圖文表面層溶于一體，具有結(jié)合牢度強、耐磨性、耐候性好的特點。

工藝流程 有機玻璃清潔處理----噴涂抗蝕刻感光膠---曝光---顯影著色---彩色蝕刻---去膠膜----成型----去防所紙----拋光---成品

國內(nèi)生產(chǎn)刻蝕機水平高的企業(yè)為中微半導體設(shè)備（上海）有限公司（這家同樣是有國資背景的企業(yè)，前兩大股東也是國有企業(yè)，所以有人說我國光刻機沒發(fā)展起來是因為國企的原因，這是不對的，中微半導體也可以說是國企，但是刻蝕機的技術(shù)水平是世界水平的。國內(nèi)刻蝕機的發(fā)展離不開尹志堯為代表的幾十位海歸技術(shù)。尹志堯曾經(jīng)擔任應用材料的公司副總裁（應用材料是半導體設(shè)備廠商老大），參與領(lǐng)導幾代等離子體刻蝕設(shè)備的開發(fā)，在美國工作時就持有86項。2004年回來之后，國家牽頭設(shè)立了中微半導體公司，尹志堯等人重新投入研發(fā)刻蝕機，河南銘牌蝕刻機技術(shù)，僅僅用了3年的時間就做出了世界的刻蝕機，為此美國人無法接受，鋁板銘牌蝕刻機技術(shù)，還起訴了中微半導體侵權(quán)，但是終的驗證結(jié)果是沒有任何的侵權(quán)。（這才是中微半導體比上海微電子發(fā)展快的原因，畢竟上海微電子的沒有人才在荷蘭的ASML工作過，也許正是因為這件事，所以美國現(xiàn)在禁止ASML招聘中國的員工）。我國的刻蝕機技術(shù)位于，中微半導體的介質(zhì)刻蝕機贏進入臺積電7nm、10nm的生產(chǎn)線，中微半導體的刻蝕機制造工藝達到了5nm，已經(jīng)通過了臺積電的驗證




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