刻蝕機目前國際上主要的供應(yīng)商為應(yīng)用材料、LamResearch等。中國方面技術(shù)有慢慢追上的趨勢，即將登錄科創(chuàng)板的中微半導(dǎo)體，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經(jīng)臺積電(2330-TW)驗證，智能激光腐蝕機技術(shù)，將用于首條5nm制程生產(chǎn)線。而北方華創(chuàng)則是在14nm技術(shù)有所突破。市場預(yù)估今明兩年中國刻蝕機需求分別達(dá)15億美元與20億美元。    拋光：可以使晶圓表面達(dá)到性的平坦化，以利后續(xù)薄膜沉積工序。美國應(yīng)用材料、Rtec等均為國際上主要供應(yīng)商，中國則有中電科裝備、盛美半導(dǎo)體等。但陸廠的產(chǎn)品才剛打入8寸晶圓廠中，12寸的相關(guān)設(shè)備還在研發(fā)，明顯與國際大廠有實力上的差距。市場預(yù)計今明兩年中國拋光機需求將達(dá)3.77億美元與5.11億美元。

不銹鋼表面化學(xué)加工

用三氯化鐵對不銹鋼制品的局部表面進(jìn)行腐蝕，在其表面刻畫出各種花紋、圖案、文字、LOGO等?；瘜W(xué)腐蝕過程是現(xiàn)在需腐蝕的不銹鋼表面涂上保護(hù)油墨或貼上不干膠。然后放入三氯化鐵和少量鹽酸組成的蝕刻液，棗莊激光腐蝕機技術(shù)，不銹鋼表面層與三氯化鐵作用，生成的氯化物溶解在蝕刻液中或沉積在不銹鋼表面。

而根據(jù)上述工藝流程得知所需設(shè)備分別為：

工序1.涂布機：主要用于工件涂油墨做保護(hù)層，用涂布機上油墨是現(xiàn)如今技術(shù)成熟的一種方式，特點是均勻、省時、省人工、產(chǎn)量高、省耗材等等。

工序2.烤   箱：主要用于涂的油墨烤干，防止油墨流掛，加深固化

工序3.曝光機：主要用于光固工件上的局部感光油墨，形成圖像轉(zhuǎn)移，通過開啟紫外線燈光發(fā)出UVA波長的紫外線，將菲林片上的圖案轉(zhuǎn)移到涂有感光油墨的工件上

工序4.顯影機：主要用于感光工藝，銅板激光腐蝕機技術(shù)，曝光后將產(chǎn)品表面圖案顯現(xiàn)出來，然后進(jìn)入蝕刻工序，可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。

工序5.蝕刻機：主要用于腐蝕工件上露出的金屬部分，使用蝕刻液通過高壓噴淋移除部分金屬的腐蝕設(shè)備。

工序6.超聲波清洗機：主要用于清洗經(jīng)過腐蝕后多余的油墨得到成品。

此時要注意手不能直接接觸到器件鍍膜表面(可以用工具例如鑷子等，鈦金激光腐蝕機技術(shù)，戴指套或橡膠手套)，且擦拭時要順著一個方向。    主要部件保養(yǎng)建議（頻率視設(shè)備使用情況靈活調(diào)整）    1.出現(xiàn)異常現(xiàn)象時，首先切斷一切電源，再進(jìn)行檢查；    2.機器應(yīng)該放在通風(fēng)的地方或恒溫室中，因為超過某一溫度后，會影響激光器正常工作；    3.保持室內(nèi)及設(shè)備表面整潔干凈；    4.定期檢查各光學(xué)器件是否有污染，如有污染時清潔；    5.不要重壓升降平臺，防止精度降低；






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