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高純氦氣是一種無(wú)色無(wú)味無(wú)毒且不宜燃燒的惰性氣體。在所有氣體元素中,除氫氣外,高純氦氣的原子小。氦氣比空氣輕7倍,聲響傳播速度快到3倍且熱傳導(dǎo)性高5倍。在已知的所有材料中,氮?dú)鈨r(jià)格,高純氦氣的沸點(diǎn)低,在零度時(shí)仍保持在液態(tài)狀態(tài)。氦氣的純化技能根據(jù)工作壓力、冷源的運(yùn)用等條件的不同主要分為高壓低溫冷凝、吸附法、膜分離法、變壓吸附法、低溫冷凝吸附法。
(7)在亞微米級(jí)集成電路生產(chǎn)中,氮?dú)夤?,要求提?0-9級(jí)高純氣體。為了保證結(jié)束氣體處理設(shè)備的氣體純度,應(yīng)提高氣體中的雜質(zhì)含量(包含塵粒)控制在規(guī)定值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置終端凈化設(shè)備或終端高精度氣體過(guò)濾器。每種氣體都有自身的能量,有的是對(duì)人們有利的,荊門氮?dú)?,但有的氣體確是對(duì)人們有害的,平??吹碾娨晞‰娪?,諜戰(zhàn)的那種,很多里面都會(huì)有這些風(fēng)險(xiǎn)氣體,可見(jiàn),東西都要用對(duì)當(dāng)?shù)?,這樣才干發(fā)揮作用,那么高純氦氣是怎么樣的一種氣體呢?關(guān)于它的注意事項(xiàng)又是什么呢?
1.危險(xiǎn)品,是指宜燃、宜爆、有強(qiáng)烈腐蝕性、有毒和性等物品的總稱過(guò)氧化物等。這些物品在運(yùn)送和儲(chǔ)藏時(shí),應(yīng)按照危險(xiǎn)品條例處理。2、清潔度檢查:禁止油脂等沾污氧氣鋼瓶,因?yàn)橛椭龅揭莩龅难鯕饩突蛟S燃燒,如已有油脂沾污。氫氣、氧氣或可燃?xì)怏w鋼瓶禁止接近明火。高純氧氣3、存放檢查:1)寄存氫氣鋼瓶或其它可燃性氣體鋼瓶的房間應(yīng)留意通風(fēng),避免漏出的氫氣或可燃性氣體與空氣混合后。室內(nèi)的照明燈及電氣通風(fēng)設(shè)備均應(yīng)防爆。
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