此外，高科技潔凈室廠房內(nèi)使用許多的性與性氣體，例如SiH4、H2、PH3等，更增加廠房內(nèi)的潛在危險，若無適當?shù)膶Σ吲c措施，因此，為了降低火災發(fā)生時人員的傷亡與財物的損失，必須對建筑物進行煙流控制，這一點新加坡已強制規(guī)定執(zhí)行，潔凈室廠房，而在鄰近的日本、大陸或香港也有類似煙流控制法規(guī)，其目的都是在降低火災發(fā)生時，高溫煙流對員工及設(shè)備污染的傷害。

安裝過濾器潔凈車間的過濾器安裝前，先對所有車間進行清掃、擦洗、除塵。對凈化空調(diào)系統(tǒng)要試運行12小時以上，再次對所有潔凈車間進行清掃、除塵后即刻安裝。潔凈車間的過濾器安裝前進行外觀查，不可有變形、脫落或斷裂情況，安裝后要用儀器檢測確保無泄漏現(xiàn)象。過濾器采用機械密封時，須采用厚6～8毫米的密封墊料，定位粘貼在過濾器邊框周圍，安裝后墊料的壓縮應均勻，壓縮率為25%～50%。

潔凈室FFU控制方式潔凈室FFU控制方式之計算機控制：此系統(tǒng)與前面兩種方式相比，計算機控制方式先進的功能，不但可以采用集散型控制方式，能夠很方便的實現(xiàn)FFU的集中監(jiān)測和控制，而且還可以方便的實現(xiàn)FFU的單臺、多臺及分區(qū)控制。另外可以設(shè)置控制系統(tǒng)預留通信接口，可與上位機或網(wǎng)絡進行通訊，從而實現(xiàn)遠程通信和管理功能。

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