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潔凈室的控制養(yǎng)護(hù)
嚴(yán)格控制潔凈室與相鄰房間之間的壓差同樣是保證生產(chǎn)房間空氣潔凈度的重要環(huán)節(jié)。不同潔凈級(jí)別的潔凈室及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差應(yīng)大于5帕斯卡,潔凈區(qū)與室外壓差應(yīng)大于10帕斯卡,且送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系流的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖并按順序操作,這樣可以避免空氣倒流,減少低級(jí)別塵埃對(duì)潔凈室環(huán)境的污染。每次生產(chǎn)前及一定的生產(chǎn)周期后須對(duì)清潔后的潔凈室在靜態(tài)條件下進(jìn)行塵埃粒子數(shù)的檢測(cè),以評(píng)價(jià)和掌握潔凈室塵埃粒子的含量。
各行業(yè)對(duì)潔凈度等級(jí)的要求
一級(jí)凈化車(chē)間:主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的要求為亞微米。10級(jí):主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
百級(jí)凈化車(chē)間:可用于醫(yī)i藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等。
千級(jí)凈化車(chē)間:主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)陀螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間:主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)潔凈室在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
十萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間:十萬(wàn)級(jí)潔凈室用于很多的工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,潔凈室,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn)等。
潔凈室各分部工程的外觀檢查應(yīng)符合下列要求:
一、凈化空調(diào)器凈壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無(wú)灰塵。
二、潔凈室的內(nèi)墻面、 吊頂表面和地面,應(yīng)光滑、平整,色澤均勻,不起灰塵,地板無(wú)靜電現(xiàn)象。
三、送、回風(fēng)口及各類(lèi)末端裝置、各類(lèi)管道、照明及動(dòng)力線配管、以及設(shè)備等,穿越潔凈室時(shí),穿越的密封處理應(yīng)可靠嚴(yán)密。
四、潔凈室內(nèi)各類(lèi)配電盤(pán)、 柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線管口應(yīng)可靠密封。
五、各種刷涂保溫 工程應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。
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