電感壓力傳感器

　　電感式壓力傳感器的工作原理是由于磁性材料和磁導(dǎo)率不同，當(dāng)壓力作用于膜片時，氣隙大小發(fā)生改變，氣隙的改變影響線圈電感的變化，處理電路可以把這個電感的變化轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的信號輸出，從而達(dá)到測量壓力的目的。該種壓力傳感器按磁路變化可以分為兩種：變磁阻和變磁導(dǎo)。電感式壓力傳感器的優(yōu)點在于靈敏度高、測量范圍大；缺點就是不能應(yīng)用于高頻動態(tài)環(huán)境。

　　變磁阻式壓力傳感器主要部件是鐵芯跟膜片。它們跟之間的氣隙形成了一個磁路。當(dāng)有壓力作用時，VAR3-100AW壓力傳感器，氣隙大小改變，即磁阻發(fā)生了變化。如果在鐵芯線圈上加一定的電壓，電流會隨著氣隙的變化而變化，從而測出壓力。

　　在磁通密度高的場合，鐵磁材料的導(dǎo)磁率不穩(wěn)定，這種情況下可以采用變磁導(dǎo)式壓力傳感器測量。變磁導(dǎo)式壓力傳感器用一個可移動的磁性元件代替鐵芯，壓力的變化導(dǎo)致磁性元件的移動，從而磁導(dǎo)率發(fā)生改變，由此得出壓力值。

高溫大壓力傳感器研究現(xiàn)狀

一般地，當(dāng)壓力范圍在10～100 MPa之間時，稱之為大壓力，大于100 MPa的壓力為超大壓力。高溫壓力傳感器是指在高于125℃環(huán)境下能正常工作的壓力傳感器[1]。

近年來，隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，微機(jī)械壓力傳感器由于其具有體積小、功耗低、成本低等優(yōu)勢，而得到了廣泛的應(yīng)用[1，2]。然而，該類傳感器在超過120℃環(huán)境下使用時，會由于內(nèi)部PN結(jié)出現(xiàn)漏電而導(dǎo)致傳感器性能急劇下降，進(jìn)而導(dǎo)致失效[3，4，5，6]。因此，如何把MEMS技術(shù)的優(yōu)勢和現(xiàn)有的技術(shù)相結(jié)合，通過改進(jìn)工藝、選擇新型的耐高溫材料，進(jìn)而克服MEMS傳感器的上述缺點，成為目前國內(nèi)外研究的重中之重。該研究目前也取得了巨大進(jìn)展，多種類型材料組合形成的新型敏感元件紛紛問世。

動態(tài)壓力傳感器的應(yīng)用

動態(tài)壓力傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機(jī)、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來測量發(fā)動機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測量與真空度的測量。

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