迷你cvd管式爐在使用前需要做好哪些準(zhǔn)備呢？不知道大家有沒有了解過，下面就讓【河南成儀設(shè)備科技有限公司】來帶大家了解了解吧。

迷你cvd管式爐在使用前（同時(shí)在加熱中）必須保證保護(hù)氣氛回路正常。氣氛采用氮?dú)饣驓?，由真空截止閥 流量計(jì) 真空泵，氣體由爐管一端進(jìn)氣，分二路進(jìn)氣，一路為氮?dú)?，一路為氫氣。并配一抽真空接口，在爐管的另一端排氣。排氣量通過閘閥調(diào)整。當(dāng)爐體升溫前，先啟動(dòng)真空泵并注意真空壓力表，當(dāng)真空壓力表示值接近-0.1MPa時(shí)，關(guān)閉真空泵電源。打開管路截止閥，調(diào)整氣源壓力在0.1MPa。按工藝要求調(diào)節(jié)進(jìn)流量，調(diào)節(jié)排氣口閥門，維持爐管內(nèi)壓力達(dá)到500Pa。

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cvd管式爐操作方式一般都是根據(jù)什么定的呢？您知道嗎？下面就讓【 河南成儀設(shè)備科技有限公司】來帶大家詳細(xì)的了解下吧。

針對(duì)實(shí)驗(yàn)室的使用要求，裝卸料采用間歇式手動(dòng)裝、卸料。裝料時(shí)將料盒放置在料盆支架上，打開并取出爐管一端的密封端蓋，放入帶料盒的料盒支架，再將密封端蓋安裝在cvd管式爐法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通入工藝氣氛，直到爐管內(nèi)氧含量達(dá)到工藝要求時(shí)進(jìn)行升溫?zé)Y(jié)。

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迷你cvd管式爐的優(yōu)點(diǎn)有哪些呢？不知道大家有沒有了解過，下面就讓【河南成儀設(shè)備科技有限公司】來帶大家一起了解下吧。

迷你型cvd管式爐雖然外形嬌小，但是內(nèi)部結(jié)構(gòu)和其他管式爐沒什么區(qū)別，別看他比較小，但是操作還是非常便捷的。 另外1200℃迷你型真空氣氛管式爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。

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