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二、預(yù)烘和底膠涂覆(Pre-bake and Primer Vapor)
由于光刻膠中含有溶劑,所以對于涂好光刻膠的硅片需要在80度左右的。硅片脫水烘焙能去除圓片表面的潮氣、增強(qiáng)光刻膠與表面的黏附性、通常大約100 °C。這是與底膠涂覆合并進(jìn)行的。
底膠涂覆增強(qiáng)光刻膠(PR)和圓片表面的黏附性。廣泛使用: (HMDS)、在PR旋轉(zhuǎn)涂覆前HMDS蒸氣涂覆、PR涂覆前用冷卻板冷卻圓片。
30.想請教國產(chǎn)光刻膠不能達(dá)到膜厚要求,進(jìn)口的有沒有比較好的光刻膠?。?/p>
都可以??!goodpr是大陸比較多公司采用的,
但是Futurre 光刻膠在國外是比較有名氣的,包括很多大型企業(yè)都有用,膜厚做的也
比較厚從18um-200um都 可以做到,看你對工藝的要求了。
光刻膠品牌FUTURRE光刻膠產(chǎn)品屬性:
1 FUTURRE光刻膠產(chǎn)品簡要描述及優(yōu)勢:
1.1 Futurre光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS)
1.2 負(fù)性光刻膠常溫下可保存3年
1.3 150度烘烤,縮短了烘烤時間
1.4 單次旋涂能夠達(dá)到100um膜厚
1.5 顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘
光刻膠國際化發(fā)展
業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為,按照現(xiàn)在“單打獨(dú)斗”的研發(fā)路徑,肯定不行。相關(guān)部門要加大產(chǎn)業(yè)政策的配套支持力度,應(yīng)從加快完善整個產(chǎn)業(yè)鏈出發(fā),定向梳理國內(nèi)缺失的、產(chǎn)業(yè)依賴度高的關(guān)鍵電子化學(xué)品,NR9 3000P光刻膠價格,要針對電子化學(xué)品開發(fā)難度高,檢測設(shè)備要求高的特點(diǎn),組織匯聚一些優(yōu)勢企業(yè)和,形成一個產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟,國家建立一個生產(chǎn)應(yīng)用平臺,集中力量突破一些關(guān)鍵技術(shù)。
江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健表示,光刻膠要真正實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化,難度很大。問題是國內(nèi)缺乏生產(chǎn)光刻膠所需的原材料,致使現(xiàn)開發(fā)的產(chǎn)品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。而作為生產(chǎn)光刻膠重要的色漿,NR9 3000P光刻膠廠家,至今依賴日本。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產(chǎn),光刻膠國產(chǎn)化就無期。因此,必須通過科研單位、生產(chǎn)企業(yè)的協(xié)同創(chuàng)新,盡快取得突破。
有提出,NR9 3000P光刻膠哪家好,盡管國產(chǎn)光刻膠在面板一時用不起來,NR9 3000P光刻膠,但還是要從政策上鼓勵國內(nèi)普通面板的生產(chǎn)企業(yè)盡快用起來。只有在應(yīng)用過程中才能發(fā)現(xiàn)問題,解決問題,不斷提升技術(shù)、工藝與產(chǎn)品水平,實(shí)現(xiàn)我國關(guān)鍵電子化學(xué)品材料的國產(chǎn)化,完善我國集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈,滿足國家和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的需求。
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