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曝光顯影光刻十步法:表面準(zhǔn)備—涂光刻膠—軟烘焙—對(duì)準(zhǔn)和曝光—顯影—硬烘焙—顯影目測(cè)—刻蝕負(fù)膠:聚合物曝光后會(huì)由非聚合態(tài)變?yōu)榫酆蠣顟B(tài),形成一種互相粘結(jié)的物質(zhì),手機(jī)殼曝光顯影價(jià)格,是抗刻蝕的,手機(jī)殼曝光顯影拋光,大多數(shù)負(fù)膠里面的聚合物是聚異戊二烯類(lèi)型的,手機(jī)殼曝光顯影公司,早期是基于橡膠型的聚合物;
正膠:其基本聚合物是-甲醛聚合物,也稱(chēng)為-甲醛Novolak樹(shù)脂,聚合物是相對(duì)不可溶的,在用適當(dāng)?shù)墓饽芰科毓夂?,光刻膠轉(zhuǎn)變成可溶狀態(tài)手機(jī)殼曝光顯影
曝光顯影光刻工藝是一種用來(lái)去掉晶圓表面層上所規(guī)定的特定區(qū)域的基本操作
分辨率-resolution 特征圖形尺寸-feature size 圖像尺寸-image size 定位圖形-Alignment or Registration 聚合-polymerization 抗刻蝕的-etch resistant or Resist or Photoresist 亮場(chǎng)掩膜版-clear field mask 光溶解-photosolubilization;
負(fù)膠 亮場(chǎng)或正膠 暗場(chǎng)形成空穴; 負(fù)膠 暗場(chǎng)或正膠 亮場(chǎng)形成凸起手機(jī)殼曝光顯影
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