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NR9-3000PY 相對(duì)于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢(shì):
- 優(yōu)異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過(guò)調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲(chǔ)存保質(zhì)期長(zhǎng)達(dá)3 年
NR9-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR9-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR9-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR9-6000PY 5.0μm -
12.2μm
Resist Thickness
NR71-1000PY 0.7μm - 2.1μm
NR71-1500PY 1.1μm - 3.1μm
NR71-3000PY 2.1μm - 6.3μm
NR71-6000PY 5.0μm - 12.2μm
正膠PR1-2000A1技術(shù)資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長(zhǎng)為365 或者436納米,可用于晶圓步進(jìn)器、掃描投影對(duì)準(zhǔn)器、近程打印機(jī)和接觸式打印機(jī)等工具。PR1-2000A1可以滿(mǎn)足對(duì)附著能力較高的要求,在使用PR1-2000A1時(shí)一般不需要增粘劑,如HMDS。
相對(duì)于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優(yōu)勢(shì):
PEB,NR9 1500P光刻膠哪家好,不需要后烘的步驟;
較高的分別率;
快速顯影;
較強(qiáng)的線(xiàn)寬控制;
蝕刻后去膠效果好;
在室溫下有效期長(zhǎng)達(dá)2年。
光刻膠市場(chǎng)
光刻膠市場(chǎng)擴(kuò)增,對(duì)光刻膠的總需求不斷提升。據(jù)估計(jì),2015年國(guó)際光刻膠市場(chǎng)達(dá)73.6億美元,其中PCB光刻膠占比24.5%,LCD光刻膠占26.6%,半導(dǎo)體光刻膠占比24.1%。2010年到2015年期間,國(guó)際光刻膠市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率約為5.8%;據(jù)中國(guó)產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)數(shù)據(jù),NR9 1500P光刻膠,2015年,PCB光刻膠、LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠的國(guó)際市場(chǎng)增速均在5%左右。在下游產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)下,江瀚咨詢(xún)預(yù)計(jì)國(guó)際光刻膠市場(chǎng)規(guī)模在2022年可能突破100億美元。
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