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光刻膠的組成部分
光刻膠一般由4種成分組成:樹脂型聚合物、光活性物質、溶劑和添加劑。樹脂是光刻膠中占比較大的組分,構成光刻膠的基本骨架,主要決定曝光后光刻膠的基本性能,負性光刻膠公司,包括硬度、柔韌性、附著力、耐腐蝕性、熱穩(wěn)定性等。光活性物質是光刻膠的關鍵組分,負性光刻膠哪家好,對光刻膠的感光度、分辨率等其決定性作用。
分辨率、對比度和敏感度是光刻膠的技術參數。隨著集成電路的發(fā)展,芯片制造特征尺寸越來越小,對光刻膠的要求也越來越高。光刻膠的技術參數包括分辨率、對比度和敏感度等。為了滿足集成電路發(fā)展的需要,光刻膠朝著高分辨率、高對比度以及高敏感度等方向發(fā)展。
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光刻膠介紹
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光刻膠是電子領域微細圖形加工關鍵材料之一,內蒙古負性光刻膠,是由感光樹脂、增感劑和溶劑等主要成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,其溶解度發(fā)生變化,經適當溶劑處理,溶去可溶性部分,然后得到所需圖像。 光刻膠作為技術門檻極高的電子化學品一直被國際企業(yè)壟斷。 隨著大力研發(fā)和投入, 國內企業(yè)已逐步從低端 PCB 光刻膠發(fā)展至中端半導體光刻膠的量產。
硅片模具加工如何選擇光刻膠呢?
注意事項:
①若腐蝕液為堿性,則不宜用正性光刻膠;
②看光刻機型式,若是投影方式,用常規(guī)負膠時氮氣環(huán)境可能會有些問題
③負性膠價格成本低,正性膠較貴;
④工藝方面:負性膠能很好地獲得單根線,負性光刻膠哪里有,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;
⑤健康方面:負性膠為有機溶液處理,不利于環(huán)境;正性膠屬于水溶液,對健康、環(huán)境無害。
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