高溫大壓力傳感器研究現狀

一般地，當壓力范圍在10～100 MPa之間時，稱之為大壓力，大于100 MPa的壓力為超大壓力。高溫壓力傳感器是指在高于125℃環(huán)境下能正常工作的壓力傳感器[1]。

近年來，隨著MEMS技術的發(fā)展，微機械壓力傳感器由于其具有體積小、功耗低、成本低等優(yōu)勢，而得到了廣泛的應用[1，2]。然而，該類傳感器在超過120℃環(huán)境下使用時，會由于內部PN結出現漏電而導致傳感器性能急劇下降，進而導致失效[3，4，5，6]。因此，如何把MEMS技術的優(yōu)勢和現有的技術相結合，通過改進工藝、選擇新型的耐高溫材料，進而克服MEMS傳感器的上述缺點，成為目前國內外研究的重中之重。該研究目前也取得了巨大進展，多種類型材料組合形成的新型敏感元件紛紛問世。

霍爾壓力傳感器

　　霍爾壓力傳感器是基于某些半導體材料的霍爾效應制成的?；魻栃侵府敼腆w導體放置在一個磁場內，且有電流通過時，導體內的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊，繼而產生電壓（霍爾電壓）的現象。電壓所引致的電場力會平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性，可證實導體內部的電流是由帶有負電荷的粒子（自由電子）之運動所造成。

　　在導體上外加與電流方向垂直的磁場，會使得導線中的電子受到洛倫茲力而聚集，從而在電子聚集的方向上產生一個電場，此電場將會使后來的電子受到電力作用而平衡掉磁場造成的洛倫茲力，使得后來的電子能順利通過不會偏移，此稱為霍爾效應。而產生的內建電壓稱為霍爾電壓。

　　當磁場為一交變磁場時，霍爾電動勢也為同頻率的交變電動勢，建立霍爾電動勢的時間極短，故其響應頻率高。常用霍爾元件的材料大都是半導體，包括N型硅(Si)、銻化銦(InSb)、銦InAs)、鍺(Ge)、GaAs)及多層半導體質結構材料。

壓力傳感器在恒壓供水系統(tǒng)上的應用

控制交流接觸器在工頻和變頻之間切換，調節(jié)水泵的工作量。PLC在系統(tǒng)中的作用是對控制部分編程實現自動化。

　　系統(tǒng)啟動后，檢查是自動模式還是手動模式。如果是手動操作，則應該根據自己的需要布置相應的按鈕，系統(tǒng)根據按鈕進行相應的操作。在自動運行模式下，系統(tǒng)將根據程序和相關輸入信號進行相應的操作。

手動模式主要是解決系統(tǒng)錯誤或設備問題。另外，為了防止PLC故障導致系統(tǒng)停機，VPRQF-A3-20MPaS-4傳感器，手動控制不進入PLC程序，這更有利于系統(tǒng)進行控制。在自動運行模式下，如果PLC接收到頻率上限信號，則執(zhí)行增泵程序，增加泵的數量。如果PLC接收到頻率下限信號，則執(zhí)行減泵程序，減少泵的數量。保持當前運行狀態(tài)，不接收信號。

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