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勻膠機(jī)材質(zhì)的選擇
勻膠機(jī)對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,國產(chǎn)的大部分勻膠機(jī)采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
勻膠機(jī)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn),如美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無油泵,即通常說的干泵,因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況,還會讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制,數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)價(jià)格,當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
DRAM市場發(fā)展史
三星充分利用了存儲器行業(yè)的強(qiáng)周期特點(diǎn),依靠的輸血,在價(jià)格下跌、生產(chǎn)過剩、其他企業(yè)削減投資的時(shí)候,擴(kuò)產(chǎn),通過大規(guī)模生產(chǎn)進(jìn)一步下殺產(chǎn)品價(jià)格,從而逼競爭對手退出市場甚至直接破產(chǎn),數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī),世人稱之為“反周期定律”。在存儲器這個(gè)領(lǐng)域,數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)多少錢,三星一共祭出過三次“反周期定律”,前兩次分別發(fā)生在80年代中期和90年代初,讓三星從零開始,做到了存儲器老大的位置。但三星顯然覺得玩的還不夠大,于是在2008年金融危機(jī)前后,第三次舉起了“反周期”屠刀。
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