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6,堅膜
堅膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強,康腐蝕能力提高。堅膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min,7,顯影檢驗,光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對準不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡,針KONG、小島。
8刻蝕
就是將涂膠前所墊基的薄膜中沒有被光刻膠覆蓋和保護的那部分進行腐蝕掉,達到將光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到下層材料的目的。濕法刻蝕,SIO2,NR71 3000PY光刻膠哪家好,AL, Poly-Si 等薄膜,干法腐蝕。
9,NR71 3000PY光刻膠哪里有,去膠:濕法去膠,用溶劑、用NONG硫酸。負膠,98%H2SO4 H2O2 膠=CO CO2 H2O,正膠:BIN酮,干法去膠(ash)氧氣加熱去膠O2 膠=CO CO2 H2O,等離子去膠Oxygenplasma ashing,高頻電場O2---電離O- O ,NR71 3000PY光刻膠, O 活性基與膠反應CO2,CO,NR71 3000PY光刻膠多少錢, H2O, 光刻檢驗
光刻膠國內(nèi)的研發(fā)起步較晚
光刻膠的研發(fā),關(guān)鍵在于其成分復雜、工藝技術(shù)難以掌握。光刻膠主要成分有高分子樹脂、色漿、單體、感光引發(fā)劑、溶劑以及添加劑,開發(fā)所涉及的技術(shù)難題眾多,需從低聚物結(jié)構(gòu)設(shè)計和篩選、合成工藝的確定和優(yōu)化、活性單體的篩選和控制、色漿細度控制和穩(wěn)定、產(chǎn)品配方設(shè)計和優(yōu)化、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝優(yōu)化和穩(wěn)定、終使用條件匹配和寬容度調(diào)整等方面進行調(diào)整。因此,要自主研發(fā)生產(chǎn),技術(shù)難度非常之高。
在光刻膠研發(fā)上,我國起步晚,2000年后才開始重視。近幾年,雖說有了快速發(fā)展,但整體還處于起步階段。事實上,工藝技術(shù)水平與國外企業(yè)有著很大的差距,尤其是材料及設(shè)備都仍依賴進口。
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