動(dòng)線規(guī)劃要點(diǎn)：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)的流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染。作業(yè)者、化學(xué)藥品、材料等動(dòng)線勿集中；無(wú)塵車間四周，宜設(shè)緩沖區(qū)；制造裝置的出入，不要對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。

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1.更換設(shè)備的時(shí)候要格外注意，并且安裝的時(shí)候一定要根據(jù)設(shè)備上的標(biāo)示進(jìn)行正確的安裝，要確定密封性能良好，以防出現(xiàn)滲漏的現(xiàn)象。

2.根據(jù)實(shí)際的使用情況定期將其中的過(guò)濾設(shè)備取下清洗、保養(yǎng)。

3.當(dāng)更換、清洗等一系列的措施都用過(guò)之后如果還沒(méi)有改善的話，那就說(shuō)明其中的空氣設(shè)備出現(xiàn)了堵塞的現(xiàn)象，也應(yīng)該及時(shí)更換。

4.使用的儀器定期測(cè)定設(shè)備的各項(xiàng)技能指標(biāo)，如果發(fā)現(xiàn)不符合的現(xiàn)象要及時(shí)進(jìn)行處理。

5.品牌風(fēng)淋室安裝完畢之后一定要確認(rèn)過(guò)濾設(shè)備的邊框沒(méi)有滲漏的現(xiàn)象，用塵埃粒子計(jì)數(shù)器對(duì)其進(jìn)行檢漏的測(cè)試，達(dá)到相應(yīng)的技術(shù)指標(biāo)之后方可使用。

6.如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備的風(fēng)速變小的話，應(yīng)該首先檢查初效空氣設(shè)備的表面是否有發(fā)黑的現(xiàn)象，如果有的話就說(shuō)明過(guò)濾設(shè)備中積累的灰塵已經(jīng)很多了，因此增加了運(yùn)行的阻力，不銹鋼制品無(wú)塵室施工，這個(gè)時(shí)候應(yīng)該拆下設(shè)備進(jìn)行清洗或更換。

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無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高的效率的設(shè)計(jì)和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。

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