無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設計和高的效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中 。

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無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，百級無塵室標準，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

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　　1.工業(yè)無塵室---主要控制無生命微粒對工作對象的污染，無塵室標準，其內部一般保持正壓，它適用于精密工業(yè)、電子工業(yè)、航天工業(yè)、化學工業(yè)、印刷工業(yè)等部門。工業(yè)無塵車間只要控制參數(shù)是溫度、濕度、風速、流場、潔凈度。. M# l* U. M1 o) ]

　　2.生物無塵室---以有生命微粒的控制為對象，又可分為：一般生物無塵室，主要控制有生命微粒對工作對象的污染。生物安全無塵車間主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染，不同的是室內要求靜壓比周圍環(huán)境低一定數(shù)值，用于研究實驗設施實驗室和生物工程。生物無塵室與一般工業(yè)的無塵室本質是一樣的，不同的是生物無塵室對細菌的含量要有控制。

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