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在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內產生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導入同量的外氣是必要的,新鄉(xiāng)無塵室價格,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。
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在應用潔凈室技術的相關行業(yè)中,電子行業(yè)對潔凈及相關受控環(huán)境依賴性大,潔凈技術在電子行業(yè)應用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。在我國,電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產業(yè)作為支撐我國電子信息產業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產業(yè),十萬級無塵室價格,也是潔凈室相關供應商的重要用戶。據調查,世界上面積大的潔凈室即應用于平板顯示行業(yè),一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。
潔凈技術對我國電子信息產業(yè)發(fā)展意義重大,因為它與產品的成品率有著直接關系。電子行業(yè)對生產環(huán)境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。
1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
2.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
3.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值:
4.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。
無塵室的送風量,應取下面三項大值:
●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量:
●根據熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量:
●向電子制造廠潔凈室內的供給的新鮮空氣量:
這類潔凈室(區(qū))有電氣、電子生產潔凈室、電子計算機潔凈室、半導體工業(yè)潔凈室等等。我司對這類潔凈室的設計、施工有一定的技術水平,在凈化通風空調工程、公用動力系統(tǒng)、電氣工程、照明、電信、消防工程、動力設備安裝工程、彩鋼板圍護工程等均能夠均能做較高水平的施工。后期的調查,KBM無塵室價格,業(yè)主反映由我司建造(改造)的電子潔凈室(區(qū))生產出的產品合格率高達99.98%。
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