真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

真空泵一定要無(wú)油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過(guò)國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。

勻膠機(jī)簡(jiǎn)單介紹

送片盒中的晶片，自動(dòng)送到承片臺(tái)上，用真空吸附，在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速100-9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分)，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)，起動(dòng)加速度可調(diào)。

每道程序的持續(xù)時(shí)間，轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過(guò)編程控制。

勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng)，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。

膠膜厚度一般在500-1000nm，同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊功能，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)價(jià)格，去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤工位，有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按一定的升溫速率進(jìn)行烘干。烘烤過(guò)程在密封的爐子中進(jìn)行，通過(guò)抽真空排除揮發(fā)出來(lái)的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后，將晶片送入收片盒內(nèi)。

主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵，起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開(kāi)并使膠均勻的決定因素。

DRAM市場(chǎng)發(fā)展史

三星充分利用了存儲(chǔ)器行業(yè)的強(qiáng)周期特點(diǎn)，依靠的輸血，在價(jià)格下跌、生產(chǎn)過(guò)剩、其他企業(yè)削減投資的時(shí)候，擴(kuò)產(chǎn)，數(shù)轉(zhuǎn)膠存檔機(jī)多少錢，通過(guò)大規(guī)模生產(chǎn)進(jìn)一步下殺產(chǎn)品價(jià)格，從而逼競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手退出市場(chǎng)甚至直接破產(chǎn)，世人稱之為“反周期定律”。在存儲(chǔ)器這個(gè)領(lǐng)域，三星一共祭出過(guò)三次“反周期定律”，前兩次分別發(fā)生在80年代中期和90年代初，讓三星從零開(kāi)始，做到了存儲(chǔ)器老大的位置。但三星顯然覺(jué)得玩的還不夠大，于是在2008年金融危機(jī)前后，第三次舉起了“反周期”屠刀。

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