當流程處于均壓狀況時，PSA制氧設(shè)備，操控均壓的電磁閥通電，其它閥封閉；先導(dǎo)氣接通均壓閥開啟口，使得這閥門翻開，完結(jié)均壓進程。當流程處于右吸狀況時，操控右吸的電磁閥通電，先導(dǎo)氣接通右吸進氣閥、右吸產(chǎn)氣閥、左排氣閥開啟口，變壓吸附制氧機，使得這三個閥門翻開，完結(jié)右吸進程，一起左吸附塔解吸。每段流程中，除應(yīng)當翻開的閥門外，其它閥門都應(yīng)處于封閉狀況。

變壓吸附制氧機主要由鼓風(fēng)機、真空泵、切換閥、吸附器和氧氣平衡罐組成。原料空氣經(jīng)吸入口過濾器除掉灰塵顆粒后，被羅茨鼓風(fēng)機增壓至0.3-0.5barg而進入其中一只吸附器內(nèi)。吸附器內(nèi)裝填吸附劑，其中水分、二氧化碳、及少量其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附，隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包括氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產(chǎn)品氣排至氧氣平衡罐。

變壓吸附空分制氧始創(chuàng)于20世紀60年代初(Skarstrom，PSA制氧機， 1960; Guerin de Montgarenil & Domine， 1964)，并于70年代實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。在此之前，傳統(tǒng)的工業(yè)空分裝置大部分采用深冷精餾法(簡稱深冷法)80年代以來至今CaX和LiX等高吸附分離性能的沸石分子篩的相繼開發(fā)利用和工藝流程的改進，使得變壓吸附空分技術(shù)得到迅速地發(fā)展，與深冷空分裝置相比，PSA過程具有啟動時間短和開停車方便、能耗較小和運行成本低、自動化程度高和維護簡單、占地面積小和土建費用低等特點。在不需要高純氧的中小規(guī)模(小于100噸/天，相當于3000Nm3/h )氧氣生產(chǎn)中比深冷法更具有競爭力。廣泛的應(yīng)用于電爐煉鋼、有色金屬冶煉、玻璃加工、生產(chǎn)、炭黑生產(chǎn)、化肥造氣、化學(xué)氧化過程、紙漿漂白、污水處理、生物發(fā)酵、水產(chǎn)養(yǎng)殖、和軍事等諸多領(lǐng)域(楊，1991; Kumar， 1996; Jee， Park， Haam & Lee，2002)。


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