真空鍍膜機(jī)原理和各部件分析

真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備，一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機(jī)械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。至成真空科技從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及的售后服務(wù)隊(duì)伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。

真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等，腔體由不銹鋼"target=_blank>不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。

二、輔助抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機(jī)械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

真空鍍膜機(jī)原理和各部件分析

機(jī)械泵：也叫前級泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

1、機(jī)械泵的分類：機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

2、機(jī)械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1、0*10-1PA的極限真空，雙級機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6、7*10-2帕，甚至更高

3、機(jī)械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高和腐蝕性的氣體，機(jī)械泵一般被用來抽除氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是彈片、定子、轉(zhuǎn)子等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。

真空鍍膜設(shè)備如何選配真空泵部件

一、在選真空泵時，首先要注意真空泵在工作時產(chǎn)生的振動對工藝和環(huán)境是不是存在著影響，如果工藝過程受到影響，應(yīng)該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時候需要了解待抽氣體的成分，如果需要選擇性的抽氣，一種泵可能不足以滿足要求，必須組合多種不同的泵互相配合工作，如果真空鍍膜設(shè)備鍍膜要求無油則要選用無油泵。

二、真空泵的價格和維修費(fèi)用也是我們考慮的重點(diǎn)之一。

三、真空鍍膜設(shè)備對于真空度的極限要求和工作壓力強(qiáng)度要求越來越大，對真空泵的抽真空能力要求就越高，起碼泵的極限抽真空度要高于真空設(shè)備工作真空度的半個數(shù)量級以上。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，譬如像擴(kuò)散泵的壓強(qiáng)為3~10-7mmHg，其穩(wěn)定工作壓強(qiáng)范圍為5*10-4~5*10-6mmHg，那么使用擴(kuò)散泵就不能讓其在未定工作壓強(qiáng)范圍之外工作。

四、當(dāng)泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時候，可優(yōu)先在單級泵中進(jìn)行選擇，度過排氣壓力或真空度的要求比較高，單擊泵往往不可以滿足要求，可以選擇使用兩級泵或者多級泵。