在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中，電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大，潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。在我國(guó)，電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外，平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，花粉無(wú)塵車間電話，也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶。據(jù)調(diào)查，世界上面積大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè)，一個(gè)單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機(jī)。

潔凈技術(shù)對(duì)我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因?yàn)樗c產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，特別是對(duì)直徑小于1微米的顆粒特別敏感，因?yàn)樗鼈兡芤鸾饘賹又g的短路。

1、在安裝過(guò)程中，除常規(guī)安裝工藝外，必須著重要考慮施工對(duì)象和施工環(huán)境的潔凈、衛(wèi)生、美觀，無(wú)塵廠房施工工藝必須符合GMP認(rèn)證的要求。

2、無(wú)塵凈化工程在施工安裝過(guò)程中，各交叉配合作業(yè)量大，工序之間相互銜接要求高，因此，在施工時(shí)，必須制訂出詳盡的施工協(xié)作計(jì)劃，嚴(yán)格按照施工程序施工，保證環(huán)境潔凈、衛(wèi)生。

3、無(wú)塵凈化工程對(duì)安裝施工機(jī)械設(shè)備的選樣、材料的采用、安裝技術(shù)操作要求較高；工藝設(shè)備制造精良，并且呈體積小，重量輕的趨勢(shì)，且較多設(shè)備采用不銹鋼制造；采用的材料品種規(guī)格數(shù)量繁多，工藝管道材質(zhì)采用不銹鋼較多，其焊接工作有很強(qiáng)的技術(shù)性。

4、無(wú)塵凈化工程的管道安裝配管時(shí)一定要考慮其美觀，盡量靠墻布置。在施工中一定要注意協(xié)調(diào)好各工種相互間的關(guān)系，確定施工順序，做到互不干擾，確保管道安裝的標(biāo)高、坡度，便于今后維修的原則。

一、不攜入

在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。

4）機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。

5）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不發(fā)生

在控制污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

4）機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

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