一、三維表面形貌儀測量原理：低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接，所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補償和結(jié)果計算輸出，成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。    二、三維表面形貌儀技術(shù)特點：    1、每秒一百萬張二維圖像    2、無損表面形貌檢測和分析    3、高精度在線/離線檢測    4、模塊化設(shè)計，超高集成靈活性    5、無需苛刻的工作環(huán)境（振動，噪聲，溫度等）    6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域


　三維表面測量儀是一款用于實驗室研究和生產(chǎn)控制的高分辨率光學(xué)測量儀，它將形貌測量和粗糙度測量地結(jié)合在同一個系統(tǒng)中，垂直分辨率達(dá)10nm?！　∪S表面測量儀是通過發(fā)射激光來掃描被測物，以獲取被測物體表面的三維坐標(biāo)。具有率、高精度的測量優(yōu)勢。三維表面測量儀使用冷光源系統(tǒng)，可以避免容易變形的工件在測量是因為熱變形所產(chǎn)生的誤差，并避免了由于碰觸引起的變形。不受零件表面紋理和材質(zhì)影響的高度方向的精密測量，實現(xiàn)真正的非接觸式的3D測量。使得微細(xì)制造的零件在測量高度、平面度及空間角度等位置關(guān)系方面成為可能，并且具有高可靠性的測量準(zhǔn)確性和重復(fù)性；批量的產(chǎn)品數(shù)百數(shù)據(jù)可以通過按一個按鈕實現(xiàn)自動測量和自動輸出結(jié)果，3D形貌測量儀供應(yīng)商，改變傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗的手動測量方式，使自動測量的重復(fù)性控制在微米級，大程度地提高檢測水平，促進(jìn)制造品質(zhì)的提高。


 三維表面形貌儀是一款光學(xué)表面形貌儀，非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，鎮(zhèn)江3D形貌測量儀，圓盤，3D形貌測量儀生產(chǎn)廠家，圓度，球度，臺階高度，3D形貌測量儀廠家，距離，面積，角度和體積進(jìn)行多范圍測量。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。


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