化學(xué)清洗和安全知識(shí)

1 化學(xué)清洗

在半導(dǎo)體器件工藝實(shí)驗(yàn)中?；瘜W(xué)清洗是指去除吸附在半導(dǎo)體、金屬材料和器具表面的各種有害雜質(zhì)或油漬。清洗方法是利用各種化學(xué)試劑和有機(jī)助熔劑，上饒清洗，使吸附在被清洗物體表面的雜質(zhì)和油類發(fā)生化學(xué)反應(yīng)溶解，或輔以超聲波、加熱、真空等物理措施，將雜質(zhì)除去。從要清潔的物體。表面解吸（或解吸），然后用大量高純冷熱去離子水沖洗，得到干凈的表面。

1.1 化學(xué)清洗的重要性

工藝實(shí)驗(yàn)中的每個(gè)實(shí)驗(yàn)都有化學(xué)清洗的問(wèn)題?；瘜W(xué)清洗的質(zhì)量對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果有嚴(yán)重影響。如果過(guò)程處理不當(dāng)，將得不到實(shí)驗(yàn)結(jié)果或?qū)嶒?yàn)結(jié)果很差。因此，了解化學(xué)清洗的作用和原理對(duì)工藝實(shí)驗(yàn)具有重要意義。眾所周知，半導(dǎo)體的重要特性之一是對(duì)雜質(zhì)非常敏感。只要有百萬(wàn)分之一甚至少量的雜質(zhì)，就會(huì)對(duì)半導(dǎo)體的物理性能產(chǎn)生影響。方法。各種功能半導(dǎo)體器件的制造。但也正是因?yàn)檫@個(gè)特點(diǎn)，給半導(dǎo)體器件的工藝實(shí)驗(yàn)帶來(lái)了麻煩和困難。用于清潔的化學(xué)試劑、生產(chǎn)工具和水可能成為有害雜質(zhì)的來(lái)源。即使是干凈的半導(dǎo)體晶圓更長(zhǎng)時(shí)間暴露在空氣中也會(huì)引入明顯的污染物?；瘜W(xué)清洗是去除有害雜質(zhì)，保持硅片表面清潔。

水沖刷酸洗完畢后，應(yīng)將酸洗液以快速度排放

并以盡可能短的時(shí)間和盡可能高的流速?zèng)_刷清洗系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)出口水的pH值大于5時(shí)，即可完畢水沖刷。

2.6 漂洗

漂洗是一個(gè)低濃度酸洗的進(jìn)程，其操作進(jìn)程和酸洗進(jìn)程相同，只是酸洗劑的濃度較低。漂洗完畢的判別也和酸洗終判別相同。

2.1 鈍化 將系統(tǒng)內(nèi)水的溫度控制在預(yù)定規(guī)劃，必要時(shí)可用向系統(tǒng)中參與自來(lái)水的辦法降溫。向漂洗液中參與NaOH或NH3， H，O，調(diào)度pH值所需規(guī)劃，參與鈍化劑，循環(huán)或浸泡清洗。在鈍化進(jìn)程中，氧氣設(shè)備清洗，每1h取樣剖析鈍化液中堿的濃度和鈍化液的pH值。在鈍化完畢后，把鈍化液排出，并用鍋爐給水沖刷至pH≈8～9，清洗進(jìn)程完畢。

3 煮爐  

50年代中期以前消費(fèi)的鍋爐曾選用過(guò)鉚接與脹接工藝，這種鍋爐有制造縫隙，不可能選用酸洗的辦法鏟除氧化皮、焊渣、塵土等污垢，所以選用煮爐的辦法除銹除垢。結(jié)了垢的鍋爐也常選用煮爐的辦法除垢。直到鍋爐選用全焊接制造工藝后，酸洗除垢才得以普遍應(yīng)用。但低壓鍋爐仍把煮爐去油污作為投產(chǎn)前的清洗和防腐蝕辦法；當(dāng)垢中有硅酸鹽和硫酸鹽時(shí)，選用煮爐轉(zhuǎn)化，能夠除垢或有助于垢的鏟除。煮爐首要分堿煮爐和橡膠煮爐兩種。

防止板式換熱器結(jié)垢的措施及其清洗原理

二氧化碳?xì)怏w處于溢流過(guò)程中。結(jié)果，附著在金屬氧化物表面的水垢被剝離。嚴(yán)格按照板式換熱器的清洗方法進(jìn)行清洗是保證生產(chǎn)正常運(yùn)行的重要保證。并脫落。

換熱器不受阻礙，并且具有較小的面積和復(fù)雜的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。如果清潔液沉淀，則不容易排出。換熱器由鎳鈦合金制成，鹽酸用作清洗液。容易對(duì)板產(chǎn)生強(qiáng)腐蝕，并縮短換熱器的使用壽命。

運(yùn)行過(guò)程中水質(zhì)受到嚴(yán)格控制，必須對(duì)系統(tǒng)中的水和軟化罐中的軟化水進(jìn)行嚴(yán)格的水質(zhì)測(cè)試，合格后才能注入管網(wǎng)。有機(jī)酸主要包括：草酸，鐵離子污染清洗，甲酸等。通過(guò)酸浸試驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)甲酸可以有效地除去附著在板上的水垢，同時(shí)，其對(duì)換熱器板的腐蝕作用也很小。

清潔劑的選擇是酸洗，酸洗包括有機(jī)酸和無(wú)機(jī)酸。在整個(gè)系統(tǒng)中，應(yīng)及時(shí)清理除污設(shè)備和過(guò)濾器，并應(yīng)保持管網(wǎng)清潔，以防止換熱器堵塞。根據(jù)對(duì)換熱器的結(jié)垢和過(guò)程，材料和水垢成分的分析：

溶出度

該酸溶液容易與鈣，鎂和碳酸鹽水垢反應(yīng)，并且是天然可溶的化合物以溶解水垢。新系統(tǒng)投入運(yùn)行時(shí)，應(yīng)將換熱器與系統(tǒng)分開(kāi)，并在循環(huán)一段時(shí)間后，應(yīng)將換熱器合并到系統(tǒng)中。為了避免管網(wǎng)中的雜質(zhì)進(jìn)入換熱器。向甲酸清洗液中添加緩沖劑和表面活性劑對(duì)換熱器清洗效果更好，中央空調(diào)清洗，并且可以減少清洗液對(duì)板的侵蝕。對(duì)于不溶或溶解緩慢的水垢層，它具有一定的提升力，可以使水垢從換熱器的受熱表面脫落。

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