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部件方面,設(shè)備如果和風管連接,那支吊架要重新單獨設(shè)置,并且他不能夠成為風管的吊點。 雙吊桿支架在風道就位后,應(yīng)保證橫擔平直,吊桿不扭轉(zhuǎn),雙吊桿受力均勻。風管支吊點與風口、風閥和自動控制機構(gòu)之間的距離,空調(diào)彎管供應(yīng),應(yīng)不小于200mm。風道安裝時,進、出風日宜在風道預(yù)制時開出洞口,如需在安裝完畢的風道上現(xiàn)開風口,其接口處應(yīng)嚴密。
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(1)一般排氣:其來源于機臺運轉(zhuǎn)發(fā)熱產(chǎn)生不含有害物質(zhì)或是高溫氣體,但考慮無塵室空調(diào)負荷與過濾裝置負荷,因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。
(2)酸堿性排氣:其主要來源于化學(xué)清洗工作站,清洗晶片時所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體,故必須經(jīng)過水洗中和處理,再由風機排入大氣。
氣管連接端口應(yīng)緊固,荊門彎管供應(yīng),法蘭不得錯位安裝,復(fù)合彎管供應(yīng),插入式連接應(yīng)牢固牢固。對于連接的管道,檢查管道是否平直和調(diào)整是關(guān)鍵的一步。安裝后風道布置美觀,支架及風道不得傾斜。管道、管件的可拆卸接口和調(diào)節(jié)機構(gòu)應(yīng)安裝在便于操作的位置,不得安裝在墻壁或地板上;與風管連接的氣閥部件應(yīng)單獨支撐和固定。防火擋板的易熔片應(yīng)安裝在迎風一側(cè);防火門與墻體之間的距離不得超過200mm。
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