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影響減薄機減薄硅片平整度的因素有哪些?
減薄前將硅片粒結合在行星齒輪片上的沾片方法是十分重要的。因為當沾片的方法不合理時,減薄后的硅片厚度公差將會隨之增大,所以在沾片前我們要故的首步是將硅片按厚度分好檔,然后把硅片用蠟均勻地沾在行星齒輪片正、反兩面上,需要注意的是同一輪研磨的四塊或五塊行星齒輪片上的硅片厚度-定要均勻,如果硅片不按照厚度去分檔,而任意沾片,想要提高減薄后的硅片厚度公差是相對比較困難的。
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立式減薄機IVG-200S
設備概述:
名稱: 立式減薄機
型號: IVG-200S
該設備采用立式主軸結構,工作時磨盤與工件盤同時旋轉,減薄機廠家,磨盤的進給采用微米步進電機進給系統(tǒng),磨盤采用杯式金剛石磨盤,不但加工精度高,而且加工效率很高,為普通研磨效率的10倍以上。該系列設備廣泛應用各類半導體晶片、壓電晶體、光學玻璃、陶瓷、藍寶石襯底、FDD表面、電子過濾器、碳化硅等材料的超精密平面加工。
減薄機設備原理
減薄機設備原理
1.本系列橫向減薄研磨機為全自動精密磨削設備,由真空吸盤或者電磁吸盤吸附工件與磨輪作相反方向旋轉運動,磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產;
2.設備可自動對刀、實際檢測磨削扭力、自動調節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸。
高精密橫向減薄設備特點:
1.可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內;
2.減薄,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度較高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度較高可減薄250微米;
3.系列研磨機采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
企業(yè): 北京凱碩恒盛科技有限公司
手機: 15201528687
電話: 010-65729550
地址: 北京市朝陽區(qū)久文路六號院宇達創(chuàng)意中心84號樓103單元