中央空調(diào)凈化工程系統(tǒng)功能說明書

◆空氣凈化的幾種措施及特點：

　?、艂鹘y(tǒng)的布袋過濾集塵即在風(fēng)口處安裝用無紡布制作的集塵過濾裝置，D級無塵車間，是現(xiàn)今國內(nèi)大多中央空調(diào)正在采用的凈化方式，此種方式結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，易于安裝，使用率較廣，但由于慮材孔徑較小，故存在風(fēng)阻大、噪音增加、耗電量增大的弊端，更為嚴重的是適宜的溫濕度使空氣中的微生物快速繁衍，以至容易造成某些病如流1感、病和菌團病的傳播，對室內(nèi)人員危害極大。

　?、瞥粞鯕⒕鷥艋粞醯膽?yīng)用在近幾年來越來越廣泛，因為臭氧本身的氧化性強，可以在短時間內(nèi)破壞細1菌、病毒和其他微生物的生物結(jié)構(gòu)，達到殺菌祛味的作用。但值得注意的是，對于空氣凈化的這個領(lǐng)域，當(dāng)臭氧的濃度超過一定范圍時將表現(xiàn)出強烈的刺激性，對人體有一定的危害。根據(jù)《室內(nèi)空氣中臭氧衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》。(GB/T18202-2000)規(guī)定，臭氧平均高容許濃度為0.1mg/m3，濃度過低難以達到凈化效果，過高則對人體有害，新能源D級無塵車間，對其濃度的有效控制問題增加了臭氧凈化應(yīng)用的難度，不利于此種方式的廣泛應(yīng)用。

凈化車間為什么要控制溫濕度?主要作用是什么，具體有什么措施?

    凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，微電子D級無塵車間，shou選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，雷射D級無塵車間，這種車間不宜超過25度?！穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

    正壓差值并非是越大越好，無塵車間施工人員通過許多理論研究和實踐都證明，人員物料通過門時，即使門兩側(cè)關(guān)門壓差高達50~60pa，仍難絕dui避免隨人員、物料向內(nèi)移動時的攜帶氣流將污染帶入凈化車間內(nèi)。特別是當(dāng)門兩側(cè)存在溫度差別時，門敞開后，即便無人走動，在開口斷面部分面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的懸浮污染物。此外，過高的正壓差還會造成凈化車間的門既難開啟又難關(guān)嚴，門縫氣流造成哨聲噪聲，以及因氣流外溢過量而補風(fēng)量增加，浪費能源和加重各級過濾器負擔(dān)。

    無塵車間合理的氣流組織方案是減弱開門時污染物侵入的輔助手段之一。通常在靠近低級別潔凈室一側(cè)的門口設(shè)置一些回風(fēng)口，以形成部分無塵車間氣流向門一側(cè)運動的趨勢，與無塵車間在關(guān)門狀態(tài)下的正壓外溢氣流匯成一股向門內(nèi)側(cè)運動的氣流流型。一旦門開敞后，侵入的污染物向無塵車間進深擴散的范圍將會明顯縮小。了解開門時污染侵入的風(fēng)險，使一些凈化車間的關(guān)鍵工序或污染敏感工藝與門保持合理的距離，也是必要措施之一。

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