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(1)進入屏障環(huán)境的人員應在外更衣室脫去外衣,除下手表、手機、飾品等物品。
(2)進入內更衣室,穿戴凈化衣、帽、口罩、手套。
(3)人員進入后,立即關閉外門,無塵實驗室,風淋自動啟動1分鐘(已設置)。
(4)風淋結束,進入屏障環(huán)境。
風淋室的管理
(1)風淋室由責任人管理,每季度定期更換初效濾材。
(2)每2年更換風淋室的高1效濾材。
(3)應輕開輕關風淋室內、外門。
(4)遇風淋室發(fā)生故障時,應及時報維修人員修理。一般情況下不準啟動手動按鈕。
準備階段質量控制要點
1.認真做好圖紙會審和技術交底
充分領會設計意圖,做好圖紙會審和技術交底工作是保障潔凈室施工質量的重要技術環(huán)節(jié),無塵實驗室,發(fā)現(xiàn)和解決在施工中難以操作的技術難題,為保證潔凈室施工質量打下堅實的基礎。
施工中會出現(xiàn)各種矛盾,這需要施工方與設計、建設方合作,在保證潔凈室施工質量的前提下進行合理變更。
如在對某潔凈室改擴建工程檢查中發(fā)現(xiàn),原設計的風管尺寸在主體大樓樓層高度受限制的吊頂層內根本無法施工,后經(jīng)施工方與設 計人員和建設方的協(xié)調,在不影響工程質量的前提下,將風管尺寸從方形變?yōu)楸庑?,既滿足了風量要求,無塵實驗室服務,又保證了施工吊頂高度的要求。
2.嚴格控制材料設備質量
潔凈室的材料設備主要有各類裝飾材料和空調設備材料。對裝飾材料應嚴格按國家有關工程技術標準、施工質量驗收規(guī)范和設計文件的要求進行檢驗和驗證。潔凈室應使用不產塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉和容易清潔并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面裝飾材料。
空調保溫材料也必須符合國家有關規(guī)定達到耐腐蝕、不產塵、不附著灰塵和防火等要求。
凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,shou選應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,無塵實驗室供應,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。 濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
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