真空泵在進(jìn)行使用的過程中主要是利用物理、機(jī)械以及物理化學(xué)的方法有效的對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

    真空泵在工作的過程中基本上可以有效的分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。耐腐蝕真空泵

    真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。

    對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對有一定的抽速，不銹鋼真空泵定制，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

    真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，不銹鋼真空泵訂購，可以選擇有油泵，耐腐蝕真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。耐腐蝕真空泵

    真空泵的齒側(cè)密封即氣腔之間的密封和與大氣隔絕的密封，不銹鋼真空泵電話，通常齒側(cè)密封被認(rèn)為是決定渦旋泵抽氣性能的主要因素之一，對于齒側(cè)密封，常通過修正渦圈壁厚，選擇運(yùn)行間隙，使泵在達(dá)到工作溫度時(shí)嚙合間隙較小，以此達(dá)到密封的目的，它也是保證泵的極限真空度的必要條件。

    由于動、靜渦旋盤工作時(shí)會產(chǎn)生熱變形，而且變形量不同，其較小轉(zhuǎn)動間隙會隨工況而變化，間隙過大，會導(dǎo)致一個(gè)極限真空度難以達(dá)到，間隙過小，渦旋盤之間會發(fā)生摩擦甚至咬合，導(dǎo)致溫度急劇上升，破壞渦旋盤壁面，導(dǎo)致泵的咬死失效，所以間隙大小的確定對設(shè)計(jì)者是一個(gè)挑戰(zhàn)。齒頂密封和齒側(cè)密封是渦旋泵性能的保證。耐腐蝕真空泵

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