超精密切削加工

主要有超精密車(chē)削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車(chē)床上用經(jīng)過(guò)精細(xì)研磨的單晶金剛石車(chē)刀進(jìn)行微量車(chē)削，切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，精度可達(dá)0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。

20世紀(jì)90年代至今為民間工業(yè)應(yīng)用成熟期。從1990年起，由于汽車(chē)、能源、信息、光電和通信等產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，超精密加工機(jī)的需求急劇增加，在工業(yè)界的應(yīng)用包括非球面光學(xué)鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器磁頭、磁盤(pán)基板加工、半導(dǎo)體晶片切割等。在這一時(shí)期，超精密加工設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導(dǎo)軌、油承導(dǎo)軌、摩擦驅(qū)動(dòng)進(jìn)給軸也逐漸成熟，超精密加工設(shè)備變?yōu)楣I(yè)界常見(jiàn)的生產(chǎn)機(jī)器設(shè)備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產(chǎn)型設(shè)備。此外，設(shè)備精度也逐漸接近納米級(jí)水平，加工行程變得更大，加工應(yīng)用也逐漸增廣，除了金剛石車(chē)床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術(shù)也被開(kāi)發(fā)出來(lái)，并且可以加工非軸對(duì)稱(chēng)非球面的光學(xué)鏡片。

精密機(jī)械加工工藝的作用，主要從三點(diǎn)來(lái)說(shuō)：

一、是指導(dǎo)生產(chǎn)的主要技術(shù)文件

機(jī)械加工車(chē)間生產(chǎn)的計(jì)劃、調(diào)度，工人的操作，零件的加工質(zhì)量檢驗(yàn)，加工成本的核算，超精密加工價(jià)格，都是以工藝規(guī)程為依據(jù)的。處理生產(chǎn)中的問(wèn)題，也常以工藝規(guī)程作為共同依據(jù)。如處理質(zhì)量事故，應(yīng)按工藝規(guī)程來(lái)確定各有關(guān)單位、人員的責(zé)任。

二、是生產(chǎn)準(zhǔn)備工作的主要依據(jù)

車(chē)間要生產(chǎn)新零件時(shí)，首先要制訂該零件的機(jī)械加工工藝規(guī)程，再根據(jù)工藝規(guī)程進(jìn)行生產(chǎn)準(zhǔn)備。如：新零件加工工藝中的關(guān)鍵工序的分析研究；準(zhǔn)備所需的刀、夾、量具；原材料及毛坯的采購(gòu)或制造；新設(shè)備的購(gòu)置或舊設(shè)備改裝等，均必須根據(jù)工藝來(lái)進(jìn)行。

三、是新建機(jī)械制造廠的基本技術(shù)文件

新建批量或大批量機(jī)械加工車(chē)間時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝規(guī)程確定所需機(jī)床的種類(lèi)和數(shù)量以及在車(chē)間的布置，再由此確定車(chē)間的面積大小、動(dòng)力和吊裝設(shè)備配置以及所需工人的工種、技術(shù)等級(jí)、數(shù)量等。

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