流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門， 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程， 在工作的過程當(dāng)中，多晶爐流量計哪家好， 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降， 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa)，多晶爐流量計品牌， 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時， 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓， 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)， 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。

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如何提高流量控制器的準(zhǔn)確度？

提高氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)用準(zhǔn)確度的措施為：

1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際工藝參數(shù)，對該流量計進(jìn)行“個性化標(biāo)準(zhǔn)”，從而實(shí)現(xiàn)在實(shí)際使用流量點(diǎn)的一定范圍內(nèi)，多晶爐流量計原理，該氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際測量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。

2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準(zhǔn)確度的影響。

4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。

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流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小， 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一， 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二， 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  三， 要在MFC氣路前面加減壓閥，多晶爐流量計， 穩(wěn)定入口氣壓， 在MFC下游加背壓閥， 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓， 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥， 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn)，  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

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