真空設(shè)備氦檢漏

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深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

真空檢漏真空檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀基本原理簡(jiǎn)介

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度gao，用得普遍的檢漏儀器。

  氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，真空檢漏，本底噪聲顯著減?。潇`敏度可達(dá)10-14～10-15Pam3／s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn)．適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3／s。

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為您解決后顧之憂，歡迎您撥打電話~~~

真空設(shè)備氦檢漏

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真空檢漏真空檢漏

(1)工作原理與結(jié)構(gòu)

   氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

   ①單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

   現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀。

   在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。。

   在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過(guò)加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可計(jì)算。

   可見，當(dāng)B和U為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過(guò)出口縫隙S2，到達(dá)收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái)；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙S2，所以被分離出來(lái)。(me-1)2=4，即He 的質(zhì)荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

   ②雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀

  由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且，如在兩個(gè)分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場(chǎng)，使離子在進(jìn)入第二個(gè)分析器前再次被加速。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子，雖然可以通過(guò)個(gè)分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個(gè)分析器后，由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來(lái)。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

   ③逆流氦質(zhì)譜檢漏儀

   逆流氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102；對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時(shí)，通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。

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聽音法

氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無(wú)泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無(wú)關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來(lái)，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽診qi，真空檢漏設(shè)備報(bào)價(jià)，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。

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